[實用新型]一種OLED有機材料蒸發裝置

有效

• 申請號: 201320374429.8
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN203320117U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 趙芳
• 申請（專利權）人: 四川虹視顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/12
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227
• 代理人: 周永宏

技術領域

本實用新型屬于OLED顯示器件技術領域，涉及蒸鍍有機材料的蒸發技術，具體涉及一種用于蒸鍍OLED有機材料的蒸發裝置。?

背景技術

隨著光通信技術和光傳感技術的發展和廣泛使用，在OLED有機材料蒸鍍技術領域，現有的蒸鍍有機材料的蒸發裝置存在這諸多問題。傳統的蒸鍍工藝在OLED量產階段有機材料加熱蒸鍍過程是連續不間斷的，當填充的有機材料全部被蒸發掉時，必須停止生產以添加蒸鍍材料。但是，有機材料什么時候被全部蒸發掉是不確定的，通常只能通過有經驗的工程師估計其大概時間。并且，由于蒸鍍工藝是對多層多種材料逐一蒸鍍，所以在添加有機材料時還需要估計各種有機材料的蒸鍍速度，為了降低成本減少浪費，理想狀態是多種有機材料同時蒸發完并同時添加新料。例如，當蒸鍍到第三層材料時有機材料耗盡，此時需要停機重新添加所有的有機材料（包括用于蒸鍍其他層的油機材料），這樣不僅打亂正常的生產計劃，還浪費了除第三層材料之外的其他有機材料及一張光刻基板。同時，有機材料在生產前需要通過預熱工藝進行處理，預熱階段有機材料發生的變化也無法檢測，比如當由于預熱溫度探測設備故障導致溫度過高時，有機材料在預熱階段可能就已經蒸發殆盡，當旋轉到蒸鍍位置時材料已經消耗完，而且此時的蒸鍍設備處于真空狀態，無法立即打開檢查，進而導致延誤生產、大量的浪費其他有機材料等一系列的問題。?

實用新型內容

本實用新型為了解決現有的有機材料蒸鍍工藝中所遇到的因材料不足導致的蒸鍍基板和蒸鍍材料浪費的問題，提出了一種可以精確控制有機材料的用于蒸鍍OLED有機材料的蒸發裝置。?

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案是：一種OLED有機材料蒸發裝置，包括基板載臺、蒸鍍室和裝載機器人，所述蒸鍍室用于為有機材料蒸鍍提供真空環境，裝載機器人用于裝載蒸鍍基板，其特征在于，還包括蒸發舟、加熱裝置、稱量單元、工控機和主控單元，所述加熱裝置用于加熱蒸發舟，稱量單元放置于蒸發舟下并共同置于蒸鍍室內，用于實時反映蒸發舟內有機材料的量，工控機同時與稱量單元和主控單元相連接，用于將稱量單元稱量的有機物的量的信息傳輸至主控單元，裝載機器人與工控機相連接，用于根據有機物的量的信息裝載蒸鍍基板。?

進一步的，所述裝置還包括功率控制器，所述功率控制器與加熱單元相連接，用于控制加熱單元的功率。?

進一步的，所述加熱單元為電加熱絲。所述電加熱絲纏繞在蒸發舟周圍，用于對蒸發舟加熱。?

進一步的，所述稱量單元為天平。?

進一步的，所述稱量單元為電子秤或壓力傳感器。?

進一步的，所述裝置包含不止一個蒸發舟，用于依次蒸發不同的有機材料。?

進一步的，所述裝置還包括旋轉部件，所述旋轉部件與基板載臺相連接，用于通過控制基板載臺旋轉使基板進入下一有機材料的蒸鍍工序。?

本實用新型的有益效果：本實用新型的用于蒸鍍OLED有機材料的蒸發裝置通過引入稱量單元、加熱單元、功率控制器及工控機等模塊，解決了現有的OLED有機材料蒸鍍中是否需要更換有機材料需要人工估算的不足，實現了對有機材料蒸發動態的實時監控，使蒸發過程控制更加精細化，進而避免了因估計不準出現的蒸鍍次品等導致材料浪費的一系列問題，更適用于量產產線。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。?

附圖標記說明：蒸鍍室1，基板載臺2，加熱單元3，蒸發舟4，稱量單元5，工控機6。?

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型做進一步詳述。?