[實用新型]一種OLED有機材料蒸發裝置

有效

• 申請號: 201320374429.8
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN203320117U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 趙芳
• 申請（專利權）人: 四川虹視顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;C23C14/12
• 代理公司: 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227
• 代理人: 周永宏

1.一種OLED有機材料蒸發裝置，包括基板載臺、蒸鍍室和裝載機器人，所述蒸鍍室用于為有機材料蒸鍍提供真空環境，裝載機器人用于裝載蒸鍍基板，其特征在于，還包括蒸發舟、加熱裝置、稱量單元、工控機和主控單元，所述加熱裝置用于加熱蒸發舟，稱量單元放置于蒸發舟下并共同置于蒸鍍室內，用于實時反映蒸發舟內有機材料的量，工控機同時與稱量單元和主控單元相連接，用于將稱量單元稱量的有機物的量的信息傳輸至主控單元，裝載機器人與工控機相連接，用于根據有機物的量的信息裝載蒸鍍基板。?

2.根據權利要求1所述的一種OLED有機材料蒸發裝置，其特征在于，所述裝置還包括功率控制器，所述功率控制器與加熱單元相連接，用于控制加熱單元的功率。?

3.根據權利要求1或2所述的一種OLED有機材料蒸發裝置，其特征在于，所述加熱單元為電加熱絲，所述電加熱絲纏繞在蒸發舟周圍，用于對蒸發舟加熱。?

4.根據權利要求1所述的一種OLED有機材料蒸發裝置，其特征在于，所述稱量單元為天平。?

5.根據權利要求1所述的一種OLED有機材料蒸發裝置，其特征在于，所述稱量單元為電子秤或壓力傳感器。?

6.根據權利要求1所述的一種OLED有機材料蒸發裝置，其特征在于，所述蒸發裝置包含不止一個蒸發舟，用于依次蒸發不同的有機材料。?

7.根據權利要求1、2、4、5和6之任一項權利要求所述的一種OLED有機材料蒸發裝置，其特征在于，所述蒸發裝置還包括旋轉部件，所述旋轉部件與基板載臺相連接，用于通過控制基板載臺旋轉使基板進入下一有機材料的蒸鍍工序。?