[實用新型]一種基板檢測裝置

有效

• 申請號: 201320362852.6
• 申請日: 2013-06-24
• 公開（公告）號: CN203443900U
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 張學剛;周鵬;章旭;齊勤瑞
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種基板檢測裝置，其特征在于，具體包括：檢查部、測量部和判定部；?

所述檢查部與所述測量部并列設置，其中所述檢查部用于對所述基板進行檢查并檢出缺陷，包括圖像采集模塊和用于承載圖像采集模塊的第一支架，所述圖像采集模塊獲取基板的灰度值；?

所述測量部用于對所述基板的缺陷進行測量，包括圖像測量模塊和用于承載圖像測量模塊的第二支架，所述圖像測量模塊獲取基板的特性值；?

所述判定部分別與所述檢查部和所述測量部連接，所述檢查部根據灰度值確定缺陷位置，所述判定部將所述缺陷位置信息傳輸給所述測量部，所述測量部對所述缺陷位置進行特性值測量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根據所述缺陷位置特性值判定缺陷的等級。?

2.根據權利要求1所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述基板檢測裝置還包括：?

機臺，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述機臺之上；?

所述第一支架和/或所述第二支架均包括兩根支腳和一根支撐桿，所述支撐桿的兩端與所述兩根支腳的上端固定連接，所述兩根支腳的下端固定安裝在所述機臺上，所述圖像采集模塊設置于所述第一支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊設置在所述第二支架的支撐桿上。?

3.根據權利要求1或2所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述判定部包括通信模塊和判定模塊，所述通信模塊分別與所述檢查部的圖像采集模塊和所述測量部的圖像測量模塊連接。?

4.根據權利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述圖像采集模塊包括至少一個電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模?塊包括至少一個電荷耦合元件圖像傳感器。?

5.根據權利要求4所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述圖像采集模塊包括三個電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像采集模塊固定設置于所述第一支架的支撐桿上；所述圖像測量模塊包括一個電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模塊可移動地設置于所述第二支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊可以沿所述第二支架的支撐桿移動。?

6.根據權利要求2所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述基板檢測裝置還包括：?

傳輸單元，平行設置于所述機臺上，能在所述機臺上進行前后移動，用于承載和傳輸待檢測基板。?

7.根據權利要求6所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述機臺周邊設置有標尺，所述機臺上的標尺與放置在所述傳輸單元上的基板邊緣進行比對，建立基板坐標和機臺坐標的對應關系。?

8.根據權利要求4所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述檢查部中的電荷耦合元件圖像傳感器獲取所述基板的圖像，根據所述缺陷位置的灰度值與所述基板正常區域的灰度值之間的差異確定缺陷位置，并將所述缺陷位置和所述缺陷位置的灰度值通過所述通信模塊發送給所述判定模塊。?

9.根據權利要求8所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述判定部將所述缺陷位置信息傳輸給所述測量部，所述測量部中的電荷耦合元件圖像傳感器對所述缺陷位置進行特性值測量，得到所述缺陷位置特性值，并將所述缺陷位置特性值再通過所述通信模塊發送給所述判定模塊。?

10.根據權利要求8或9所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述判定模塊根據所述缺陷位置特性值和所述基板上正常區域的特性值之間的差異確定缺陷等級，并根據所述缺陷位置的灰度值與所述?缺陷位置特性值的對應關系建立數據庫，所述數據庫中的缺陷位置特性值與所述缺陷等級具有匹配關系。?