[實用新型]一種基板檢測裝置

有效

• 申請號: 201320362852.6
• 申請日: 2013-06-24
• 公開（公告）號: CN203443900U
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 張學剛;周鵬;章旭;齊勤瑞
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及一種基板檢測裝置，所述檢測裝置集檢查、測量和判定缺陷功能于一體。

背景技術

彩膜基板為液晶平面顯示器（Liquid?Crystal?Display）彩色化的關鍵組件。液晶平面顯示器為非主動發光之組件，其色彩之顯示必需透過內部的背光模塊（穿透型LCD）或外部的環境入射光（反射型或半穿透型LCD）提供光源，再搭配驅動IC與液晶控制形成灰階顯示，而后透過彩色濾光片的R、G、B彩色層提供色相，形成彩色顯示畫面。彩膜基板的基本結構是由玻璃基板01、黑色矩陣02、彩色樹脂層03、保護層04，一般穿透式液晶顯示器的彩膜基板結構如圖1所示。

彩膜基板在生產過程中不可避免的會產生宏觀缺陷，缺陷的形成是由于膜厚的不均一性。由于彩膜基板上PR膜（photoresist，光刻膠，即彩膜基板中的彩色樹脂層）厚度不均一導致的彩色異常，輕重不一，嚴重等級的缺陷還會影響彩膜基板產品品質，因此一旦發現有缺陷就需要立即進行缺陷等級的判定。一般缺陷等級是根據缺陷區域的特性值與正常區域的特性值存在異常的程度來進行判定的。目前常規的缺陷等級判定方法是缺陷檢查機檢查出缺陷后，待產品生產完成后再拿去檢測，主要是進行特性值的測量，再根據特性值的測量結果判定缺陷等級，大致的判斷流程如圖2所示，具體包括以下步驟：

S1、檢查設備發現缺陷；

S2、測量設備測量缺陷；

S3、工程師根據測量數據對缺陷進行判定。

上述常規的缺陷等級判定方法不僅浪費大量時間而且容易發生批量不良。檢查缺陷、測量缺陷時兩臺分開的設備，并且檢查只能發現缺陷，測量只起到單純的數據測量的作用，而判定缺陷是靠工程師根據檢查結果和測量的特性值數據進行人為的判定，由于人為判定過程是根據工程師的經驗進行判定，極易發生誤差，對最后的缺陷等級判定也將會產生較為嚴重的影響，而且人為判定過程需耗費較長時間，難以提高判定缺陷等級的速率。

實用新型內容

（一）要解決的技術問題

針對上述缺陷，本實用新型要解決的技術問題是如何將缺陷判定的設備集成為一體，盡量減少不良產品的發生，同時對缺陷等級進行自動判定，提高判定缺陷等級的效率。

（二）技術方案

為解決上述問題，本實用新型提供了一種基板檢測裝置，具體包括：檢查部、測量部和判定部；

所述檢查部與所述測量部并列設置，其中所述檢查部用于對所述基板進行檢查并檢出缺陷，包括圖像采集模塊和用于承載圖像采集模塊的第一支架，所述圖像采集模塊獲取基板的灰度值；

所述測量部用于對所述基板的缺陷進行測量，包括圖像測量模塊和用于承載圖像測量模塊的第二支架，所述圖像測量模塊獲取基板的特性值；

所述判定部分別與所述檢查部和所述測量部連接，所述檢查部根據灰度值確定缺陷位置，所述判定部將所述缺陷位置信息傳輸給所述測量部，所述測量部對所述缺陷位置進行特性值測量得到缺陷位置特性值，所述判定部再根據所述缺陷位置特性值判定缺陷的等級。

進一步地，所述基板檢測裝置還包括：

機臺，所述第一支架和所述第二支架均呈倒“U”型固定于所述機臺之上；

所述第一支架和/或所述第二支架均包括兩根支腳和一根支撐桿，所述支撐桿的兩端與所述兩根支腳的上端固定連接，所述兩根支腳的下端固定安裝在所述機臺上，所述圖像采集模塊設置于所述第一支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊設置在所述第二支架的支撐桿上。

進一步地，所述判定部包括通信模塊和判定模塊，所述通信模塊分別與所述檢查部的圖像采集模塊和所述測量部的圖像測量模塊連接。

進一步地，所述圖像采集模塊包括至少一個電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模塊包括至少一個電荷耦合元件圖像傳感器。

進一步地，所述圖像采集模塊包括三個電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像采集模塊固定設置于所述第一支架的支撐桿上；所述圖像測量模塊包括一個電荷耦合元件圖像傳感器，所述圖像測量模塊可移動地設置于所述第二支架的支撐桿上，所述圖像測量模塊可以沿所述第二支架的支撐桿移動。

進一步地，所述基板檢測裝置還包括：

傳輸單元，平行設置于所述機臺上，能在所述機臺上進行前后移動，用于承載和傳輸待檢測基板。

進一步地，所述機臺周邊設置有標尺，所述機臺上的標尺與放置在所述傳輸單元上的基板邊緣進行比對，建立基板坐標和機臺坐標的對應關系。