[實用新型]一種精細納米真空鍍膜設備故障納米高分子抽離保護裝置有效
| 申請號： | 201320357162.1 | 申請日： | 2013-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN203333757U | 公開（公告）日： | 2013-12-11 |
| 發明（設計）人： | 袁懌佳;孔哲人;徐繼先;吳岳謙 | 申請（專利權）人： | 派拉綸（上海）納米科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/00 | 分類號： | C23C16/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海三和萬國知識產權代理事務所(普通合伙) 31230 | 代理人： | 陳偉勇 |
| 地址： | 201601 上海市松江區泗涇*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 精細 納米 真空鍍膜 設備 故障 高分子 保護裝置 | ||
1.一種精細納米真空鍍膜設備故障納米高分子抽離保護裝置，包括沉積室、冷凝器、真空泵、中央控制器、汽化室、裂解室、裝料室，其特征在于，所述裝料室通過管路連接所述汽化室，所述汽化室通過管路連接所述裂解室，所述汽化室與所述裂解室之間的管路上設有一控制閥；
所述裂解室通過管路連接所述真空泵，所述裂解室與所述真空泵之間的管路上設有一控制閥；
所述裂解室還通過管路連接所述沉積室，所述沉積室通過管路連接所述冷凝器，所述冷凝器通過管路連接所述真空泵。
2.根據權利要求1所述的一種精細納米真空鍍膜設備故障納米高分子抽離保護裝置，其特征在于：還包括一UPS不間斷電源，所述UPS不間斷電源電連接所述真空泵、所述冷凝器、所述中央控制器。
3.根據權利要求1所述的一種精細納米真空鍍膜設備故障納米高分子抽離保護裝置，其特征在于：所述汽化室與所述裂解室之間的管路，所述裂解室與所述真空泵之間的管路，共用一個總控制閥；
所述總控制閥設有1個出口，所述出口與所述裂解室聯通；
所述總控制閥還包括2個進口，分別為第一進口、第二進口，所述第一進口與所述汽化室聯通，第二進口與所述真空泵聯通；
所述總控制閥還設有2個閥門，一個位于進口與所述第一進口之間，另一個位于進口與所述第二進口之間。
4.根據權利要求3所述的一種精細納米真空鍍膜設備故障納米高分子抽離保護裝置，其特征在于：所述中央控制器連接所述總控制閥、所述裂解室、所述沉積室、所述冷凝器。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
