[實用新型]光掩模清洗機有效
| 申請號： | 201320355807.8 | 申請日： | 2013-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN203484365U | 公開（公告）日： | 2014-03-19 |
| 發明（設計）人： | 黃峰;辛海峰 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤微電子有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214061*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光掩模 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種光掩模清洗機，所述光掩模清洗機包括去離子水噴射單元、氣體干燥單元、旋轉馬達，其特征在于，所述光掩模清洗機還包括與去離子水噴射單元、氣體干燥單元和旋轉馬達相連的中央控制器和執行控制模塊。?
2.根據權利要求1所述的光掩模清洗機，其特征在于，所述中央控制器包括：?
控制芯片，用于控制清洗流程時長；?
DIP開關，用于控制清洗進程；?
電源，與控制芯片和DIP開關相連，用于為中央控制器供電；?
以及若干第一端口，用于和中央控制器外部進行連接。?
3.根據權利要求2所述的光掩模清洗機，其特征在于，所述第一端口包括RS232C端口和以太網端口中的一種或多種。?
4.根據權利要求1所述的光掩模清洗機，其特征在于，所述執行控制模塊包括：?
與去離子水噴射單元相連的去離子水噴射控制單元；?
與氣體干燥單元相連的氣體干燥控制單元；?
與旋轉馬達相連的旋轉馬達控制單元；?
以及若干第二端口。?
5.根據權利要求4所述的光掩模清洗機，其特征在于，所述第二端口包括RS232C端口和以太網端口中的一種或多種。?
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