[實用新型]充氣座及其氣閥結構

有效

• 申請號: 201320351817.4
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN203404383U
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 陳明生
• 申請（專利權）人: 陳明生
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K31/08;F16K11/22;H01L21/67
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張若華

技術領域

本實用新型屬于一種閥件的技術領域，具體而言是一種可減少組件的氣閥結構，借以能減少閥件損壞的幾率，且減少閥件動作后產生的污染物，以提高潔凈度。

背景技術

電子產品不斷朝向輕薄短小及高效能等特性發展的影響，而用于電子產品中的核心芯片也跟著微小化及高效能化，然而要使芯片微小化與具高效能，則需使芯片上的集成電路線徑微細化，使同樣大小的芯片能容入更多的集成電路。且受到集成電路微細化及降低制作成本的影響，晶圓的尺寸越來越大，換言之，每一晶圓的芯片數越來越多，使晶圓價值不斷的提高，因此制程中晶圓上的任何問題都可能造成極大的損失。而芯片上集成電路線徑的微細化的成敗主要在于半導體制程中的黃光微影制程技術，而其關鍵設備在掃描步進機（Scanner）與光罩（Reticle），尤其是光罩表面的潔凈度更是直接的影響到晶圓的合格率。

目前光罩于制作、清洗、操作與儲存、運輸的過程中，不論置于容置光罩的載具或無塵室的環境中，均存在有不少的微粒、水氣、氣體、化學溶劑分子等有害物質，這些有害物質會附著于光罩表面，且在儲存過程中或曝光制程加熱后，這些有害物質會在光罩表面產生微粒附著、結晶、又或霧化等現象，以黃光微影制程為例，其會直接影響到光罩的透光率，進而使光罩上的圖形失真，其會造成晶圓良率降低的現象，且增加清理與改善的時間，造成生產量降低，相對上也會提高營運的成本。

為了解決這個問題，而在半導體制程中，通常運用自動化物料搬運系統（Automated?Material?Handling?System，AMHS）、與隔離進出料標準機械接口（Standard?Mechanical?Interface，SMIF）等設備，來進行光罩于不使用期間的儲存與運送，以取代傳統人工搬運、降低無塵室設備的建置與維護成本，同時能提升光罩的潔凈度，達到超高的生產合格率，因此AMHS與SMIF已被列為是國際間半導體廠的標準設備規范。

根據上述技術概念，除了在曝光使用時，光罩在運送過程或保存期間，都必須將光罩放置在一個高潔凈度、氣密性佳與低氣體逸出（Outgassing）的載具內，如光罩傳送盒（Reticle?SMIF?Pod，RSP）。而為了提高前述載具的潔凈度，通常會在前述密封式載具內充填干凈的惰性氣體（如氮氣(N2)），以減少有害氣體的為害，然而受限于載具氣密性不足的問題，通常在一段時間后，即會因漏氣而失去效果，因此近年來業界進一步開發有注入循環潔凈氣體的充氣座，該充氣座并可被設計應用于各種光罩傳送盒的收納設備上，如制程設備旁的進出料工作站、儲存用的收納柜、充氣柜或光罩運輸設備等，供對每一個光罩傳送盒進行獨立的循環充氣。

而現有的充氣座主要由一板體所構成，板體上分設有對應光罩傳送盒閥件的充、排閥件，且其中充閥件并通過接頭零件、管路連接至供應潔凈惰性氣體的供氣模塊，而排閥件則通過接頭零件、管路連接至回收廢氣的排氣模塊。現有光罩傳送盒呈上下擺置狀，因此其進、排閥件件也呈上、下狀設置，且后續氣路上的接頭與管路均呈向下伸設狀態，因此通常下方的充氣座在設置時，除了需考慮光罩傳送盒進出的空間外，還需考慮回避前述接頭與管路干擾的空間，目前約需增加5～8公分，無形間減少同一空間可收納光罩傳送盒的容量，尤其用于大型的儲存柜體時，減少的容置量更是驚人。

再者，傳統充氣座的充、排閥件通常直接連接供氣模塊與排氣模塊，而無啟閉功能，造成惰性氣體不必要的浪費，雖然近來有具啟閉作用的閥件被開發出來，但其主要利用彈性件或電磁閥來完成頂推開啟及回復關閉的動作，然而由于彈性件與電磁閥使用久了容易因彈性疲乏而損壞，且該彈性件與電磁閥也容易在動作中易因磨擦而產生微粒及發熱，而造成污染物的吸附，破壞了光罩傳送盒內部的潔凈度，因此如何解決這些問題，是相當重要的課題。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種可減少組件的氣閥結構，借以改善現有存在彈性疲乏的問題，而能延長使用壽命，且避免因磨擦產生污染物或發熱的現象，進一步可提升流經氣體的潔凈度。

本實用新型的另一主要目的在于提供一種可節省空間的充氣座，使進、排氣回路形成于充氣座內部，而不致如使管路外露，以減少零件與管路的干擾，可有效縮小上、下相鄰充氣座的間距，進而增進同一空間可收納容量。

本實用新型的再一目的在于提供一種便于操作的充氣座，其因整體外觀及零件位置與尺寸統一，不致造成機械手臂進出抓取光罩傳送盒的不便，也不會發生碰撞或勾勒外露管路的現象，且不致發生現有管路因外露而破裂漏氣的狀況，可減少不必要的維修，有效節省氣體的支出成本。