[實用新型]充氣座及其氣閥結構

有效

• 申請號: 201320351817.4
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN203404383U
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 陳明生
• 申請（專利權）人: 陳明生
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K31/08;F16K11/22;H01L21/67
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張若華

1.一種氣閥結構，其特征在于，至少包含有一基體、一閥體及一浮動件；

其中基體上形成有一嵌槽，嵌槽內底面中心形成有一能夠連通一進氣通道的氣槽，且嵌槽于氣槽內底面設有一第一磁性件，而閥體鎖設于基體嵌槽內，且閥體中央形成有一貫穿的貫孔，該貫孔下部形成有階級段，浮動件滑設于閥體的貫孔內、且上端能夠穿出閥體外部，該浮動件下端具有一直徑大于貫孔、且小于階級段的環抵片，浮動件中央于環抵片上方形成有一開口向上的氣孔，且浮動件周緣于環抵片上方形成有至少一連通該氣孔的導孔，該浮動件底面設有一對應基體的第一磁性件、且相斥的第二磁性件。

2.根據權利要求1所述的氣閥結構，其特征在于，其中該閥體底面形成有一環槽，該環槽內能夠嵌設一高于閥體底面的第一密封件。

3.根據權利要求1所述的氣閥結構，其特征在于，其中該閥體的貫孔階級段上緣形成收束狀的斜錐面，而該浮動件上套設有一能夠選擇性封閉閥體貫孔的第二密封件。

4.根據權利要求3所述的氣閥結構，其特征在于，其中該浮動件外緣于鄰近環抵片上緣處形成有供第二密封件嵌置的限位槽。

5.一種應用權利要求1所述的氣閥結構的充氣座，其特征在于，該充氣座供一光罩傳送盒擺置，且光罩傳送盒上分別設有至少一進氣用的閥件及至少一排氣用的閥件，其中該閥件均分別具有一能夠選擇性啟閉的彈性浮動氣門；

充氣座由一基體構成，所述氣閥結構的嵌槽形成于該基體上對應位置，該嵌槽的氣槽間形成有一相互連通的進氣通道、排氣通道，且該進氣通道、排氣通道的出口端并位于該基體的垂直壁面，進氣通道、排氣通道的出口端分別接設一進氣接頭、排氣接頭。

6.根據權利要求5所述的充氣座，其特征在于，其中該基體的周緣角落分別設有多個定位框。

7.根據權利要求5所述的充氣座，其特征在于，其中該充氣座能夠被應用于制程設備旁的進出料工作站、儲存用的收納柜、充氣柜或光罩運輸設備。