[實用新型]一種多晶硅制造設備

有效

• 申請號: 201320348352.7
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN203419747U
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 李波;金越順;朱燁俊
• 申請（專利權）人: 浙江精功新材料技術有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種多晶硅制造設備，包括底盤（1）、鐘罩（2）和封蓋（3），所述的底盤（1）、封蓋（3）都為雙層結構，底盤（1）和封蓋（3）上都設有冷卻液進口（4）和冷卻液出口（5），其特征是，所述的鐘罩（2）的中心設有若干電極（6），電極（6）的下端與底盤（1）固定，電極（6）的上端連接有豎直的硅芯（7），每根硅芯（7）的外側都套設有冷卻夾套（8），冷卻夾套（8）包括內夾套（81）和外夾套（82），所述的內夾套（81）和外夾套（82）的上端連通下端隔離，所述的內夾套（81）的下端設有冷卻液進口，外夾套（82）的下端設有冷卻液出口，底盤（1）上還設有進氣管（13）和出氣管（14）。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅制造設備，其特征是，所述的鐘罩（2）內位于冷卻夾套（8）與鐘罩（2）內壁之間的環形空腔內設有冷卻器（9），冷卻器（9）的下端連接有過濾器（10）。

3.根據權利要求1或2所述的一種多晶硅制造設備，其特征是，底盤（1）的上側中心設有隔離管（11），隔離管（11）的上端與冷卻夾套（8）連接，隔離管（11）的下端與底盤（1）上表面連接，隔離管（11）內設有氣體分布板（12），氣體分布板（12）上設有進氣孔。

4.根據權利要求3所述的一種多晶硅制造設備，其特征是，進氣管（13）的內端與隔離管（11）內部的空腔連通，出氣管（14）的內端與隔離管（11）外部的空腔連通。