[實用新型]一種用于在掃描電鏡下觀察超薄圓片的樣品托裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320342763.5
• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN203312251U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔桂彬;鞠新華;郝京麗;賈惠平
• 申請（專利權(quán)）人: 首鋼總公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 北京華誼知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11207
• 代理人: 劉月娥

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于實驗設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于在掃描電鏡下觀察超薄圓片的樣品托裝置。

背景技術(shù)

目前，用掃描電鏡觀察超薄圓片或載有碳膜的銅網(wǎng)樣品主要是采用直接觀察法，即將要觀察的超薄圓片或載有碳膜的銅網(wǎng)樣品用導(dǎo)電膠帶直接固定在樣品臺上，然后放入掃描電鏡中進行觀察。該方式的不足之處主要是在于進行樣品中納米顆粒的成分檢測時，不僅能檢測到納米顆粒本身的信號，還能檢測到大量的背底信號（基體組織或樣品臺表面的信號），在背底信號的影響下，其納米顆粒的信號就變得十分微弱，尤其是對于50nm以內(nèi)的顆粒物，其影響更為突出。

本實用新型提供了一種可以在掃描電鏡下觀察超薄圓片的樣品托裝置，為材料科學(xué)領(lǐng)域進行超薄圓片或碳膜樣品的觀察，以及微納米尺寸顆粒物的精確檢測與分析奠定了基礎(chǔ)。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種用于在掃描電鏡下觀察超薄圓片的樣品托裝置。

本實用新型樣品托為長方體，其表面有三個等間距凹槽，間距范圍為4.5～6.5mm，凹槽貫穿于寬度方向，與長度方向垂直，每個凹槽上檐均有三個等間距的圓孔，圓孔深度為80～120μm，圓孔直徑大于凹槽寬度，圓孔直徑范圍3.1～3.5mm。本實用新型的輔助工具有高精密尖頭專用鑷子、導(dǎo)電膠帶，以及銅網(wǎng)等。

樣品托的材質(zhì)為鋁合金材料。

樣品托上的樣品為直徑為2.8～3mm的超薄圓片或附有碳膜的銅網(wǎng)樣品，圓片厚度為50～300μm。

該裝置的工作原理為：將超薄圓片或附有碳膜的銅網(wǎng)樣品用高精密尖頭專用鑷子夾住并放到樣品托的凹槽上圓形淺孔位置，再用導(dǎo)電膠帶將其固定，緊接著將固定好的樣品托固定在樣品臺上，放入掃描電鏡內(nèi)進行觀察；觀察完畢取樣時，首先將樣品托從樣品臺上取下，再將固定超薄圓片或附有碳膜的銅網(wǎng)樣品的導(dǎo)電膠帶撕下來，用高精密尖頭專用鑷子取下樣品，放入專用樣品盒內(nèi)，以便于下次觀察。

本實用新型的優(yōu)點在于：一次性可以放置多個超薄圓片或附有碳膜的銅網(wǎng)樣品，且樣品托上設(shè)計的凹槽可以很好的避免檢測成分時背底信號的影響，定性結(jié)果更為準確，操作簡便，快捷，實用性強。

附圖說明

圖1為樣品托裝置的三維組合示意圖。其中，碳膜1、銅網(wǎng)2、超薄圓片3、樣品托4。

圖2為樣品托裝置的二維俯視圖。

圖3為圖2中樣品托裝置的A-A剖面圖。

具體實施方式

圖1-圖3為本實用新型的一種具體實施方式。

本實用新型樣品托4為長方體，其表面有三個等間距凹槽，間距范圍為5mm，凹槽貫穿于寬度方向，與長度方向垂直，每個凹槽上檐均有三個等間距圓孔，深度為100μm，,圓孔直徑為3.2mm。

樣品托4的材質(zhì)為鋁合金材料。

該裝置所觀察的樣品為附有碳膜1的銅網(wǎng)2，銅網(wǎng)2直徑為3mm，內(nèi)孔徑90μm；銅網(wǎng)2厚度100μm。

工作原理為：將一個附有碳膜1的銅網(wǎng)2樣品用高精密尖頭專用鑷子夾住并放到樣品托4的凹槽上圓形淺孔位置，再用導(dǎo)電膠帶將其固定，緊接著將固定好的樣品托4固定在樣品臺上，放入掃描電鏡內(nèi)進行觀察；觀察完畢取樣時，首先將樣品托4從樣品臺上取下，再將固定銅網(wǎng)2的導(dǎo)電膠帶撕下來，用高精密尖頭專用鑷子取下附有碳膜1的銅網(wǎng)2樣品，放入專用樣品盒內(nèi)即可。