[實用新型]一種用于在掃描電鏡下觀察超薄圓片的樣品托裝置有效
| 申請號： | 201320342763.5 | 申請日： | 2013-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN203312251U | 公開（公告）日： | 2013-11-27 |
| 發明（設計）人： | 崔桂彬;鞠新華;郝京麗;賈惠平 | 申請（專利權）人： | 首鋼總公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京華誼知識產權代理有限公司 11207 | 代理人： | 劉月娥 |
| 地址： | 100041 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 掃描電鏡 觀察 超薄 樣品 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于在掃描電鏡下觀察超薄圓片的樣品托裝置，其特征在于，樣品托（4）為長方體，表面有三個等間距的凹槽，間距范圍為4.5～6.5mm，凹槽貫穿于寬度方向，與長度方向垂直，每個凹槽上檐均有三個等間距圓孔，圓孔深度為80～120μm，圓孔直徑范圍3.1～3.5mm。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，樣品托（4）的材質為鋁合金材料。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，樣品托（4）上的樣品為直徑2.8～3mm的超薄圓片（3）或附有碳膜（1）的銅網（2），超薄圓片（3）厚度為50～300μm。
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