[實用新型]基板吸附裝置及切割機

有效

• 申請號: 201320318364.5
• 申請日: 2013-06-04
• 公開（公告）號: CN203359525U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 顧天筑;陸續;張頎;王禮強;汪平川
• 申請（專利權）人: 昆山龍騰光電有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G49/06
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司 31264
• 代理人: 李韜

1.一種基板吸附裝置，其包括可移動板、多個吸盤和吸引氣壓源，所述可移動板具有第一表面和與所述第一表面相對的第二表面，所述吸盤固定于所述第二表面上，且每一吸盤與所述吸引氣壓源連通，其特征在于：所述基板吸附裝置還包括多個輔助墊片，所述輔助墊片固定于所述第二表面上，且所述輔助墊片的厚度大于或等于所述吸盤吸附于基板時所述基板與所述可移動板的間距。

2.如權利要求1所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述吸盤的高度為3.8～4.0毫米，所述輔助墊片的厚度為3.6～3.8毫米。

3.如權利要求1所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述輔助墊片的遠離可移動板的表面上開設有多個排氣槽。

4.如權利要求3所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述多個排氣槽之間相互連通，當所述輔助墊片的遠離可移動板的表面與所述基板接觸時，所述多個排氣槽的至少其中之一與外界連通。

5.如權利要求3所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述多個排氣槽的數量為四個，包括第一排氣槽、第二排氣槽、第三排氣槽和第四排氣槽，所述第一排氣槽和所述第二排氣槽為沿所述輔助墊片的徑向延伸的線狀槽體，所述第三排氣槽和所述第四排氣槽為最大直徑不同的環狀槽體，且所述第一排氣槽、所述第二排氣槽、所述第三排氣槽和所述第四排氣槽相互連通。

6.如權利要求1所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述輔助墊片和所述吸盤均通過粘膠貼附于所述可移動板的所述第二表面上。

7.如權利要求1所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述多個吸盤和所述多個輔助墊片均勻排布于所述可移動板的所述第二表面上。

8.如權利要求1所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述可移動板上開設有多個第一吸氣孔，每一吸盤包括底部及從所述底部的邊緣延伸出的側壁，所述底部上開設有第二吸氣孔，每一第二吸氣孔與一第一吸氣孔對應，所述底部固定于所述可移動板的所述第二表面上，每一第二吸氣孔與對應的第一吸氣孔貫通。

9.如權利要求1所述的基板吸附裝置，其特征在于：所述吸盤包括依次連接且中空的吸附部、穿插部及套設部，所述可移動板上開設有多個第一吸氣孔，所述吸引氣壓源具有多個管路，所述吸附部位于所述第二表面上，所述穿插部穿插于對應的所述第一吸氣孔內，所述套設部套設于對應的所述管路上。

10.一種切割機，其特征在于，所述切割機包括權利要求1至9任意一項所述的基板吸附裝置。