[實用新型]一種太陽能硅片擴散爐

有效

• 申請號: 201320311610.4
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN203250776U
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 李春強;鄭安;柳淵博;呂海強
• 申請（專利權）人: 浙江金樂太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C30B31/18
• 代理公司: 余姚德盛專利代理事務所(普通合伙) 33239
• 代理人: 胡小永

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池制造設備技術領域，具體涉及一種太陽能硅片擴散爐。

背景技術

太陽能作為一種清潔能源，正日益得到廣泛的應用。硅片是太陽能產業中最為重要的元件，硅片在生產流程中需要經過多道處理工序，以便保證硅片的光電轉換效果。在制備過程中，擴散是制備PN結的重要工藝過程，現有技術采用高溫管式擴散爐來完成這一過程，其存在結構設計復雜，使用不便，成品率不高。

實用新型內容

（一）要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是提供一種太陽能硅片擴散爐，解決現有的擴散爐結構設計復雜，使用不便，成品率不高等問題。

（二）技術方案

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：一種太陽能硅片擴散爐，包括爐體和石英舟，所述爐體一端設有進氣口，所述爐體側壁上設有出氣口，所述出氣口處設有風閥，所述爐體內設有氣壓傳感器，所述氣壓傳感器用于檢測所述爐體內氣壓并控制所述風閥的出風量。

所述石英舟包括底架條以及設于該底架條兩側的邊架支撐板，所述邊架支撐板的外端部設有邊架條，所述底架條上沿其長度方向間隔設有凹槽。

（三）有益效果

本實用新型相比較于現有技術，具有如下有益效果：由于爐體內設有氣壓傳感器，可監控爐體內氣壓，并實時調節，且石英舟設計合理，制造成本低，硅片成品率高，具有實用性。

附圖說明

圖1是本實用新型的太陽能硅片擴散爐的結構圖。

圖2是圖1中的石英舟的結構圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步的詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。

如圖1所示的，一種太陽能硅片擴散爐，包括爐體1和石英舟2，所述爐體1一端設有進氣口3，所述爐體1側壁上設有出氣口4，所述出氣口4處設有風閥5，所述爐體1內設有氣壓傳感器6，所述氣壓傳感器6用于檢測所述爐體1內氣壓并控制所述風閥5的出風量。

如圖2所示的，所述石英舟2包括底架條7以及設于該底架條7兩側的邊架支撐板8，所述邊架支撐板8的外端部設有邊架條9，所述底架條7上沿其長度方向間隔設有凹槽10。

本實用新型由于爐體內設有氣壓傳感器，可監控爐體內氣壓，并實時調節，且石英舟設計合理，制造成本低，硅片成品率高，具有實用性。

當然，以上僅是本實用新型的具體應用范例，對本實用新型的保護范圍不構成任何限制。除上述實施例外，本實用新型還可以有其它實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本實用新型所要求保護的范圍之內。