[實用新型]用于半導體制作工藝的輸送裝置

有效

• 申請號: 201320309738.7
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN203415559U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 朱賢明
• 申請（專利權）人: 朱賢明
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張瑾

技術領域

本實用新型關于一種輸送裝置，尤指一種用于半導體制作工藝的輸送裝置。

背景技術

現今半導體制造流程當中，必須使用輸送帶將其轉移在各種制作工藝的設備，而且為了減少輸送帶不接觸到特定部位，以避免磨損或壓損致影響到其合格率，公知的輸送帶構造不斷地改進，例如由整面承載方式改變為線狀承載模式，例如中國臺灣公告第M316248號的基材輸送設備，公告第M353923號的輸送設備，及公告第404557?號的半導體構裝物料輸送模塊等，甚至是通過輸送帶上面結合承載組件的設計，進一步提升到點狀承載的輸送方式。

然而半導體為質硬而脆的材料，例如單晶硅太陽能電池的硬度大約為10Gpa~13Gpa，而輸送帶上的承載組件的構造設計及其材質的選用，常不足以抵抗太陽能電池可接觸部位(例如邊緣)的刮磨。尤其是被用于輸送太陽能電池進入燒結爐或干燥爐時，因承載太陽能電池并耐受制作工藝所需的高溫(約800-900度)，以及極速的溫度變化(10秒內通過爐內溫度，再回復到室溫環境)，能承受這樣劇烈溫度變化的承載組件材料甚少，而且其耐磨耗的機械特性不佳，將導致承載組件容易受損，進而發生制作工藝當中損壞太陽能電池的情況。

詳言之，如圖1及圖2所示，用于承載太陽能電池30進入燒結爐或干燥爐的輸送帶10，其上面傾斜狀的承載組件20的支撐部位201的構造可以構成點或線狀承載，但是其支撐部位201的硬度及耐受高溫的機械特性不佳時，就容易被太陽能電池30磨耗過深而發生刻痕202，導致刻痕202能夠接觸到容許以外的部位，因而影響到太陽能電池的質量，并縮短輸送帶10的使用壽命。

實用新型內容

為了解決現有技術中的上述問題，本實用新型提供了一種用于半導體制作工藝的輸送裝置，其借由輸送裝置的承載組件及表面鍍膜的結構設計，提升承載組件表面的硬度，并降低承載組件表面的摩擦系數，達到提升耐磨耗機械特性的目的。

本實用新型提供的用于半導體制作工藝的輸送裝置，其包括：一輸送鏈帶，及多個結合于該輸送鏈帶上用以承載半導體的承載組件；該承載組件具有一用于接觸該半導體的承載部，該承載部的表面設有一鈦基鍍膜層。

優選地，其中該承載部為一直傾斜桿，該直傾斜桿具有一直傾斜面，該鈦基鍍膜層形成于該直傾斜面。

優選地，其中該承載部由鎳基合金線材構成，且該承載部的兩端分別一體成型有一連接部，該連接部結合于該輸送鏈帶。

優選地，其中該鈦基鍍膜層的厚度為0.1μm～10μm。

優選地，其中該承載部為一彎曲桿，該彎曲桿具有一凹弧面，該鈦基鍍膜層形成于該凹弧面。

優選地，其中該承載部由鎳基合金線材構成，且該承載部的兩端分別一體成型有一連接部，該連接部結合于該輸送鏈帶。

優選地，其中該鈦基鍍膜層的厚度為0.1μm～10μm。

本實用新型的有益效果：通過鈦基鍍膜層增進承載組件的承載部表面硬度，并降低承載部表面的摩擦系數，使承載組件的承載部具有較佳的耐磨特性，也能承受高溫燒結設備及高溫干燥設備劇烈的溫度變化，因而適于反復承載太陽能電池，防止承載部被太陽能電池磨損而影響承載質量，同時可以提升輸送裝置的使用壽命。

附圖說明

圖1為公知的輸送帶及承載組件的局部示意圖；

圖2為公知的承載組件磨耗過深的局部放大示意圖；

圖3為本實用新型輸送裝置的局部立體示意圖；

圖4為本實用新型輸送裝置的局部主視示意圖；

圖5為本實用新型輸送裝置的局部剖視示意圖；

圖6為本實用新型鈦基鍍膜層的剖面放大示意圖；

圖7為本實用新型承載部另一實施例的局部主視示意圖。

部件名稱：

1-輸送鏈帶；10-輸送帶；

2-承載組件；20-承載組件；201-支撐部位；202-刻痕；21-承載部；211-直傾斜面；212-凹弧面；22-鈦基鍍膜層；23-連接部；

3-太陽能電池；30-太陽能電池。

具體實施方式

以下配合附圖詳細說明本實用新型的特征及優點。

參閱圖3、圖4及圖5所示，以輸送太陽能電池3為例，本實用新型用于半導體制作工藝的輸送裝置，其較佳的實施例包括一輸送鏈帶1，及多個結合于輸送鏈帶1上用以承載太陽能電池3的承載組件2，其中：

該輸送鏈帶1為多個金屬鏈條并排編織而成的可撓性長條，用于將太陽能電池3輸送到高溫燒結設備及高溫干燥設備。