[實用新型]硅片抓取機械手

有效

• 申請號: 201320306699.5
• 申請日: 2013-05-30
• 公開（公告）號: CN203242608U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 俞超
• 申請（專利權）人: 浙江金樂太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 余姚德盛專利代理事務所(普通合伙) 33239
• 代理人: 胡小永

技術領域

本實用新型涉及一種機械手，特別涉及一種硅片抓取機械手。

背景技術

太陽能光伏行業晶體硅電池的制作過程中，通常需將硅片從一個工位傳送至另一個工位，傳統的方式是采用人工方式，費時費力，而且容易損壞硅片。

實用新型內容

（一）要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是提供一種能自動抓取硅片的硅片抓取機械手。

（二）技術方案

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種硅片抓取機械手，包括直管4、機械密封8和真空吸盤6，所述直管4的一端密封，所述直管4密封的一端設有傳動軸2，所述傳動軸2的端部設有外花鍵1，所述直管4的另一端端面開設有出氣口，所述機械密封8安裝在所述出氣口上，所述直管4的側壁設有進氣孔5，所述進氣孔5周向均布且軸向等距排列在所述直管4的側壁，所述真空吸盤6安裝在所述進氣孔5上。

進一步的，所述機械密封8為集裝式機械密封。

進一步的，所述直管4的兩端均設有環形凸起7。

（三）有益效果

本實用新型硅片抓取機械手，通過直管側壁的吸盤完成對硅片的抓取；在出氣口上設有機械密封，能在直管轉動過程中，保證密封性；傳動軸上設有外花鍵，能穩定的驅動直管旋轉；本實用新型硅片抓取機械手，結構簡單，驅動穩定，抓取效率高且效果好，提高了生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型硅片抓取機械手的結構示意圖。

具體實施方式

參閱圖1，本實用新型提供一種硅片抓取機械手，包括直管4、機械密封8和真空吸盤6，直管即為中空管，該直管4的一端密封，在該密封的一端設有傳動軸2，在傳動軸2的端部設有外花鍵1，在直管4的另一端端面開設有出氣口，機械密封8安裝在該出氣口上，在直管4的側壁設有進氣孔5，進氣孔5周向均布且軸向等距排列在直管4的側壁，即直管4的側壁周向均布有若干列進氣孔，本實施例中，均布有五列，每列進氣孔由若干沿軸向等距排列的進氣孔組成，真空吸盤6安裝在該進氣孔5上；為了方便安裝，本實施例中的機械密封8為集裝式機械密封；為了在旋轉時防止軸向滑移，在直管4的兩端均設有環形凸起7，起到止擋的作用。

本實用新型硅片抓取機械手，通過直管側壁的吸盤完成對硅片的抓取；在出氣口上設有機械密封，能在直管轉動過程中，保證密封性；傳動軸上設有外花鍵，能穩定的驅動直管旋轉；本實用新型硅片抓取機械手，結構簡單，驅動穩定，抓取效率高且效果好，提高了生產效率。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。