[實(shí)用新型]一種下基板定位設(shè)備和真空對(duì)盒系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320306156.3
• 申請(qǐng)日: 2013-05-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203311122U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘明超;文斌;徐立元
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02F1/1333
• 分類(lèi)號(hào): G02F1/1333;H01L21/68
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

1.一種下基板定位設(shè)備，其特征在于，包括：基座和對(duì)下基板進(jìn)行定位的在所述基座上對(duì)角設(shè)置的至少二個(gè)定位裝置；?

所述定位裝置設(shè)置于所述基座上。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下基板定位設(shè)備，其特征在于，所述定位裝置包括：對(duì)下基板進(jìn)行定位的定位模塊和驅(qū)動(dòng)所述定位模塊以使所述定位模塊移動(dòng)至預(yù)定位置的驅(qū)動(dòng)模塊；?

所述驅(qū)動(dòng)模塊設(shè)置于所述基座上；?

所述定位模塊連接于所述驅(qū)動(dòng)模塊上。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下基板定位設(shè)備，其特征在于，所述定位裝置的數(shù)量為二個(gè)。?

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下基板定位設(shè)備，其特征在于，所述基座的形狀為方環(huán)狀，二個(gè)所述定位裝置分別位于所述基座相對(duì)的兩個(gè)邊角處。?

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的下基板定位設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)模塊包括驅(qū)動(dòng)所述定位模塊水平運(yùn)動(dòng)的水平驅(qū)動(dòng)子模塊和驅(qū)動(dòng)所述定位模塊垂直運(yùn)動(dòng)的垂直驅(qū)動(dòng)子模塊；?

所述垂直驅(qū)動(dòng)子模塊設(shè)置于所述基座上，所述水平驅(qū)動(dòng)子模塊設(shè)置于所述垂直驅(qū)動(dòng)子模塊上，所述定位模塊連接于所述垂直驅(qū)動(dòng)子模塊上。?

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的下基板定位設(shè)備，其特征在于，所述水平驅(qū)動(dòng)子模塊為水平驅(qū)動(dòng)氣缸，所述垂直驅(qū)動(dòng)子模塊為垂直驅(qū)動(dòng)氣缸。?

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的下基板定位設(shè)備，其特征在于，還包括?檢測(cè)單元，所述水平驅(qū)動(dòng)氣缸和所述垂直驅(qū)動(dòng)氣缸的開(kāi)始位置和目標(biāo)位置通過(guò)檢測(cè)單元檢測(cè)并反饋。?

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的下基板定位設(shè)備，其特征在于，所述定位模塊包括：定位托和定位夾，所述定位夾設(shè)置于所述定位托上。?

9.一種真空對(duì)盒系統(tǒng)，其特征在于，包括：下基板定位設(shè)備，所述下基板定位設(shè)備采用權(quán)利要求1-8任一所述的下基板定位設(shè)備。?