[實用新型]用于圓筒內壁的鐘罩式鍍膜設備

有效

• 申請號: 201320303370.3
• 申請日: 2013-05-30
• 公開（公告）號: CN203411602U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 劉瑋;王守國
• 申請（專利權）人: 劉瑋;王守國
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.本實用新型公開一種用于圓筒內壁的鐘罩式鍍膜設備，包括一個內設多個靶電極的鐘罩式真空腔體、可以上下移動的工件臺、電源、真空系統等，其特征是：一個鐘罩式真空腔固定在一個支架上，其真空腔內設有多個靶電極，在鐘罩式真空室的下方，放置一個可以上下移動的圓形工件臺，在該工件臺上設有圓筒工件定位支架，當把工件臺升起后，該工件臺與鐘罩式真空室形成真空密封，這時靶電極是插放在圓筒工件的中心位置，在靶電極接通電源后，在靶電極周圍形成濺射等離子體，并濺射出靶上的粒子沉積在圓筒工件的內表面，在靶電極和圓筒工件之間可以施加偏壓電場增加沉積層的結合力。?

2.如權利要求1所述的一種用于圓筒內壁的鐘罩式鍍膜設備，包括一個內設多個靶電極的鐘罩式真空腔體、可以上下移動的工件臺、電源、真空系統等，其特征是：一個鐘罩式真空腔是固定在一個門形支架的中部位置，該鐘罩式真空腔的側面設有真空抽氣窗口和觀察窗口，其上方設有固定靶電極的固定窗口。?

3.如權利要求1所述的一種用于圓筒內壁的鐘罩式鍍膜設備，包括一個內設多個靶電極的鐘罩式真空腔體、可以上下移動的工件臺、電源、真空系統等，其特征是：在鐘罩式真空腔內設有多個靶電極，該多個靶電極通過絕緣材料與真空罩絕緣，該多個靶電極可以與射頻電源，也可以與高頻電源，以及與直流電源連接，在靶的內部放置磁場。?

4.如權利要求1所述的一種用于圓筒內壁的鐘罩式鍍膜設備，包括一個內設多個靶電極的鐘罩式真空腔體、可以上下移動的工件臺、電源、真空系統等，其特征是：在鐘罩式真空腔室的下方，放置一個可以上下移動的圓形工件平臺，在該工件平臺上設有多個固定圓筒工件的定位支架。?

5.如權利要求1所述的一種用于圓筒內壁的鐘罩式鍍膜設備，包括一個內設多個靶電極的鐘罩式真空腔體、可以上下移動的工件臺、電源、真空系統等，其特征是：在工件平臺上升到最高位置時，工件平臺與鐘罩式真空腔體形成真空密閉，這時靶電極是正好插放在圓筒工件的中部位置。?

6.如權利要求1所述的一種用于圓筒內壁的鐘罩式鍍膜設備，包括一個內設多個靶電極的鐘罩式真空腔體、可以上下移動的工件臺、電源、真空系統等，其特征是：在工件臺升起后，靶電極是插放在圓筒工件的中心位置，在靶電極接通電源后，在靶電極周圍形成濺射等離子體，并濺射出靶上的粒子沉積在圓筒工件的內表面，在靶電極和圓筒工件之間可以施加偏壓電場增加沉積層的結合力。?