[實用新型]一種新式高效玻璃薄化設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320296247.3
• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN203269787U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳必盛
• 申請（專利權(quán)）人: 湖北優(yōu)尼科光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及蝕刻裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新式高效玻璃薄化設(shè)備。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)一般采用浸漬法和噴淋發(fā)來加工制造液晶顯示器的玻璃基板，其中，浸漬法由于設(shè)備簡單且成本低的優(yōu)點而被廣泛地應(yīng)用于液晶顯示器的玻璃基板加工制造。

在利用浸漬法加工制造液晶顯示器的玻璃基板的過程中，蝕刻劑在箱體內(nèi)流動并蝕刻玻璃基板，其中，蝕刻劑可以從箱體的頂部淋下，也可以從箱體的底部輸入；對于蝕刻劑從箱體底部輸入的結(jié)構(gòu)形式而言，由于蝕刻劑通過一個或者多個入口直接通入至箱體的內(nèi)部，蝕刻劑快速地流動并容易在箱體的內(nèi)部產(chǎn)生渦流，進而造成箱體內(nèi)部不同位置的流速不一樣以致于影響同一批次玻璃基板的反應(yīng)效率以及蝕刻質(zhì)量的一致性。

另外，為了使得玻璃基板蝕刻時所產(chǎn)生的反應(yīng)殘渣能夠更快地被帶走，在對玻璃基板進行蝕刻作業(yè)的同時，箱體的內(nèi)部同時還通入空氣；所通入的空氣能否均勻地分布于箱體內(nèi)部并平衡地于各玻璃基板接觸，對于蝕刻效率會產(chǎn)生重要影響。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種新式高效玻璃薄化設(shè)備，該新式高效玻璃薄化設(shè)備能夠有效地避免渦流對玻璃基板蝕刻質(zhì)量的影響，進而能夠有效地提高玻璃基板的蝕刻質(zhì)量；另外，該新式高效玻璃薄化設(shè)備能夠使得空氣均勻地分布于蝕刻腔室內(nèi)，即能夠加快玻璃基板蝕刻薄化速度并提高蝕刻效率。

為達到上述目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。

????一種新式高效玻璃薄化設(shè)備，包括蝕刻箱體，蝕刻箱體的內(nèi)部成型有蝕刻腔室，蝕刻箱體的內(nèi)部于蝕刻腔室的下方成型有緩沖腔室，蝕刻箱體的內(nèi)部于蝕刻腔室與緩沖腔室之間設(shè)置有搭肩，緩沖腔室的底部配裝有至少兩條與循環(huán)泵體的出液口連接且往緩沖腔室內(nèi)供給蝕刻劑的進液管，蝕刻腔室與緩沖腔室之間裝設(shè)有上下層疊且間隔布置的上導(dǎo)流板和下導(dǎo)流板，上導(dǎo)流板位于下導(dǎo)流板的上方，下導(dǎo)流板開設(shè)有上下完全貫穿且呈均勻分布的下導(dǎo)流孔，上導(dǎo)流板開設(shè)有上下完全貫穿且呈均勻分布的上導(dǎo)流孔，上導(dǎo)流孔和下導(dǎo)流孔分別為圓形孔，上導(dǎo)流孔的直徑較下導(dǎo)流孔的直徑小；緩沖腔室內(nèi)于下導(dǎo)流板的下方裝設(shè)有往蝕刻腔室內(nèi)供給氣體的供氣管道，供氣管道包括有兩條平行且間隔布置的集流管，各集流管分別配裝有與外部氣源連通的進氣管，兩條集流管之間裝設(shè)有至少兩條平行且間隔布置的分流管，分流管的兩端部分別與相應(yīng)側(cè)的集流管連接，各集流管和各分流管分別開設(shè)有呈均勻間隔布置且朝上開口的透氣孔；蝕刻箱體的上端部于蝕刻腔室的上方蓋裝有蝕刻箱蓋，蝕刻箱蓋配裝有連通蝕刻腔室的排氣管。

其中，所述蝕刻腔室的內(nèi)部于所述上導(dǎo)流板的上方裝設(shè)有固定支撐架，固定支撐架包括有水平橫向布置的固定支撐橫桿，固定支撐橫桿開設(shè)有沿長度方向呈均勻間隔布置的卡持槽。

其中，所述蝕刻箱體的上端部配裝有與所述蝕刻腔室連通的溢流管。

本實用新型的有益效果為：本實用新型所述的一種新式高效玻璃薄化設(shè)備，其蝕刻箱體的內(nèi)部設(shè)置蝕刻腔室、緩沖腔室以及搭肩，緩沖腔室的底部配裝至少進液管，搭肩搭設(shè)上導(dǎo)流板和下導(dǎo)流板，上導(dǎo)流板的上導(dǎo)流孔的直徑較下導(dǎo)流板的下導(dǎo)流孔的直徑小，緩沖腔室內(nèi)于下導(dǎo)流板的下方裝設(shè)供氣管道，供氣管道包括集流管、進氣管以及分流管，集流管和分流管分別開設(shè)透氣孔，蝕刻箱體的上端部蓋裝蝕刻箱蓋，蝕刻箱蓋配裝排氣管。工作時，蝕刻劑經(jīng)由進液管而輸入至緩沖腔室內(nèi)，緩沖腔室能起到緩沖作用；進入至緩沖腔室內(nèi)的蝕刻劑依次經(jīng)由下導(dǎo)流孔和上導(dǎo)流孔而進入至蝕刻腔室內(nèi)；本實用新型通過下導(dǎo)流板和上導(dǎo)流板進行二次導(dǎo)流處理，蝕刻劑最終被上導(dǎo)流孔分成多股細小的蝕刻劑流且均勻平穩(wěn)地進入至蝕刻腔室內(nèi)。另外，空氣先通過進氣管而進入至集流管內(nèi)，而后再分流并進入至各分流管內(nèi)，進入至各集流管和各分流管內(nèi)的空氣最后經(jīng)由透氣孔而通入至緩沖腔室內(nèi)，透氣孔對空氣進行細化處理，下導(dǎo)流孔和上導(dǎo)流孔對細小氣泡進而二次導(dǎo)流細化處理，細小氣泡與玻璃基板接觸并將玻璃基板表面蝕刻后的反應(yīng)殘渣帶走。通過上述結(jié)構(gòu)設(shè)計，本實用新型一方面能夠有效地避免渦流對玻璃基板蝕刻質(zhì)量的影響，進而能夠有效地提高玻璃基板的蝕刻質(zhì)量；另一方面能夠使得空氣均勻地分布于蝕刻腔室內(nèi)，即能夠加快玻璃基板蝕刻薄化速度并提高蝕刻效率。

附圖說明

下面利用附圖來對本實用新型進行進一步的說明，但是附圖中的實施例不構(gòu)成對本實用新型的任何限制。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型的供氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖。

在圖1和圖2中包括有：

1——蝕刻箱體????????11——蝕刻腔室

12——緩沖腔室???????13——搭肩