[實用新型]一種新式高效玻璃薄化設備

有效

• 申請號: 201320296247.3
• 申請日: 2013-05-28
• 公開（公告）號: CN203269787U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 陳必盛
• 申請（專利權）人: 湖北優尼科光電技術有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種新式高效玻璃薄化設備，其特征在于：包括蝕刻箱體（1），蝕刻箱體（1）的內部成型有蝕刻腔室（11），蝕刻箱體（1）的內部于蝕刻腔室（11）的下方成型有緩沖腔室（12），蝕刻箱體（1）的內部于蝕刻腔室（11）與緩沖腔室（12）之間設置有搭肩（13），緩沖腔室（12）的底部配裝有至少兩條與循環泵體的出液口連接且往緩沖腔室（12）內供給蝕刻劑的進液管（2），蝕刻腔室（11）與緩沖腔室（12）之間裝設有上下層疊且間隔布置的上導流板（3）和下導流板（4），上導流板（3）位于下導流板（4）的上方，下導流板（4）開設有上下完全貫穿且呈均勻分布的下導流孔（41），上導流板（3）開設有上下完全貫穿且呈均勻分布的上導流孔（31），上導流孔（31）和下導流孔（41）分別為圓形孔，上導流孔（31）的直徑較下導流孔（41）的直徑小；緩沖腔室（12）內于下導流板（4）的下方裝設有往蝕刻腔室（11）內供給氣體的供氣管道（5），供氣管道（5）包括有兩條平行且間隔布置的集流管（51），各集流管（51）分別配裝有與外部氣源連通的進氣管（52），兩條集流管（51）之間裝設有至少兩條平行且間隔布置的分流管（53），分流管（53）的兩端部分別與相應側的集流管（51）連接，各集流管（51）和各分流管（53）分別開設有呈均勻間隔布置且朝上開口的透氣孔（54）；蝕刻箱體（1）的上端部于蝕刻腔室（11）的上方蓋裝有蝕刻箱蓋（6），蝕刻箱蓋（6）配裝有連通蝕刻腔室（11）的排氣管（7）。

2.根據權利要求1所述的一種新式高效玻璃薄化設備，其特征在于：所述蝕刻腔室（11）的內部于所述上導流板（3）的上方裝設有固定支撐架（8），固定支撐架（8）包括有水平橫向布置的固定支撐橫桿（81），固定支撐橫桿（81）開設有沿長度方向呈均勻間隔布置的卡持槽（811）。

3.根據權利要求2所述的一種新式高效玻璃薄化設備，其特征在于：所述蝕刻箱體（1）的上端部配裝有與所述蝕刻腔室（11）連通的溢流管（9）。