[實用新型]電子槍坩堝的水冷裝置

有效

• 申請號: 201320287213.8
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN203307424U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 袁永旭
• 申請（專利權）人: 北京北儀創新真空技術有限責任公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;趙鎮勇

技術領域

本實用新型涉及電子槍坩堝的冷卻裝置，特別是涉及一種單坩堝電子槍坩堝的水冷裝置。

背景技術

目前，真空鍍膜機已廣泛應用，電子槍坩堝是真空鍍膜機中加熱源部件電子槍的容器，在真空鍍膜機工作過程中，處在真空（空氣極其稀薄）中的電子槍產生高能電子會使坩堝內溫度升至700～3600℃，如此高的溫度會使坩堝熔化而被破壞，為了避免這類情況發生，有效地冷卻坩堝是關鍵。

如圖1、2所示現有技術采用的上噴水浸式水冷結構，整個坩堝1設置在坩堝托2上，坩堝1與坩堝托2之間形成水道，出水口3設置在坩堝托2的中間部位，進水孔4圍繞在出水口3外在坩堝托2的中間部位，冷卻水由坩堝1底部的坩堝托2的進水孔4向上噴出，在坩堝托2上緣旋轉一周，坩堝1浸沒在水中，從出水口3流出。而在實際使用中，冷卻水由于重力的作用并不能充滿圖1示出的坩堝中水道的頂端空間（即圖1中標6的“”標記所處的空間），造成坩堝上方冷卻水不夠，使水冷效果較差，達不到設計初衷。此外，在實際使用中發現，在一定小空間內，并不能產生設計理想的噴水效果。當坩堝水冷結構中冷卻水不滿，冷卻能力也會大幅下降，坩堝極易被打漏，釀成事故。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種電子槍坩堝的水冷裝置，能解決單坩堝電子槍坩堝外壁水冷不充分，易損壞釀成事故的問題。

解決上述技術問題的技術方案如下：

本實用新型提供一種電子槍坩堝的水冷裝置，包括：

坩堝、坩堝托、出水口和進水孔；其中，

所述坩堝設置在坩堝托上，坩堝與坩堝托之間設成環形水道，所述環形水道沿所述坩堝外壁內設置；

所述出水口設置在所述坩堝托的中間部位，與所述環形水道的出水口連通；

所述進水孔設置在所述坩堝托的邊緣處，與所述環形水道連通。

本實用新型的有益效果為：通過將環形水道沿坩堝外壁內設置，并使進水孔設置在所述坩堝托的邊緣處，使得進水孔遠離出水口，從而實現冷卻水沿坩堝外壁循環，避免坩堝外壁水冷不充分，易損壞釀成事故的問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域的普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他附圖。

圖1為現有技術的電子槍坩堝的水冷裝置示意圖；

圖2為現有技術的電子槍坩堝的水冷裝置俯視圖；

圖3為本實用新型實施例提供的電子槍坩堝的水冷裝置示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的電子槍坩堝的水冷裝置俯視圖。

具體實施方式

下面對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦偷膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型的保護范圍。

本實用新型實施例提供一種電子槍坩堝的水冷裝置，如圖3、4所示，該裝置包括：坩堝21、坩堝托22、出水口25和進水孔24；

其中，坩堝21設置在坩堝托22上，坩堝21與坩堝托22之間設成環形水道23，所述環形水道23沿所述坩堝21外壁內設置；

出水口25設置在所述坩堝托22的中間部位，與所述環形水道25的出水口連通；

進水孔24設置在所述坩堝托22的邊緣處，與所述環形水道23連通。

上述水冷裝置中，進水孔為多個，沿所述環形水道均勻分布，各進水孔均與所述環形水道連通。實際中，進水孔24為三個，沿坩堝托22的邊緣處均勻分布（見圖3、4），這樣進水孔24環繞在出水口25外，且遠離出水口25；

進一步的，上述水冷裝置還包括：隔水板26，設置在與所述出水口25連接的所述環形水道內，使連接所述出水口的一段環形水道的出水處27與所述坩堝21的頂壁相接觸。

本實施例的水冷裝置，可使冷卻水更好的流經坩堝外壁，帶走更多熱量，通過將進水孔位置設在坩堝托邊緣處，調整連接出水口的一段環形水道的出水處與坩堝頂壁相接觸（即提高出水處的高度）。該水冷裝置通過改變坩堝托的結構，使坩堝與冷卻水接觸面積加大，水流加快，熱交換更加充分。與改進前相比，同一時間坩堝內冷卻水水量增加，水流流速加快，單位時間冷卻效率提升。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型披露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。