[實用新型]一種可調節的磁控濺射靶材有效
| 申請號： | 201320283918.2 | 申請日： | 2013-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN203333749U | 公開（公告）日： | 2013-12-11 |
| 發明（設計）人： | 張祥;魏斌;熊紅斌 | 申請（專利權）人： | 張祥 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 315175 浙江省寧波市鄞*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調節 磁控濺射 | ||
【權利要求書】：
1.一種可調節的磁控濺射靶材，包括靶材、固定座、螺絲、彈性布，其特征在于：
所述的靶材為兩個長方體，固定座為正方體，且固定座的高度小于靶材的高度，固定座和靶材通過螺絲相連接；
所述的兩個靶材之間連接有彈性布。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于張祥，未經張祥許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201320283918.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：燈罩中的燈頭固定組件
- 下一篇：一種巖棉噴膠機構
- 同類專利
- 專利分類
