[實用新型]一種噴淋系統(tǒng)及濕法刻蝕裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320283801.4
• 申請日: 2013-05-22
• 公開（公告）號: CN203295607U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫文昌
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及基板刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種噴淋系統(tǒng)及濕法刻蝕裝置。

背景技術(shù)

在基板制作過程中，一般是利用濕法刻蝕裝置對基板上的金屬膜層進行刻蝕以形成所需的圖案。濕法刻蝕裝置包括：真空室，設(shè)置于真空室頂部的噴淋系統(tǒng)；在將基板送入真空室的噴淋區(qū)間后，噴淋系統(tǒng)向基板噴淋刻蝕液，刻蝕基板上的金屬膜層以形成所需的圖案。

如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)中一種噴淋系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。該噴淋系統(tǒng)包括兩個噴淋單元，每個噴淋單元包括：輸送刻蝕液的主管路10，分別與主管路10連通并等間距排列的數(shù)個噴淋管道11，每個噴淋管道11上設(shè)置有多個噴嘴111，垂直于數(shù)個噴淋管道11并分別與數(shù)個噴淋管道11固定連接的拉桿12，分別位于拉桿12兩端用于支撐拉桿12的滾軸組件13和滑塊組件14，以及與滑塊組件14傳動連接用于驅(qū)動拉桿12前后移動的電機15；其中，滾軸組件13包括：固定在真空室內(nèi)壁上的支座131，滾動安裝在支座131上的滾軸132，且滾軸132與拉桿12一端接觸；滑塊組件14包括：固定在真空室內(nèi)壁上的兩個平行導(dǎo)軌141，且每個導(dǎo)軌141與拉桿12長度方向平行，滑動安裝在兩個導(dǎo)軌141上的滑塊142，且滑塊142與電機15傳動連接（圖中未畫出142與15的連接關(guān)系），滑塊142與拉桿12另一端固定連接。噴淋時，電機15驅(qū)動拉桿12相對滾軸組件13和滑塊組件14前后移動，拉桿12帶動數(shù)個噴淋管道11前后移動，刻蝕液在數(shù)個噴淋管道11前后移動的過程中噴灑在基板上。

在現(xiàn)有的噴淋系統(tǒng)中，數(shù)個噴淋管道11和拉桿12是由滾軸組件13和滑塊組件14支撐的，拉桿12在滾軸132上做前后往復(fù)運動，對拉桿12和滾軸132的磨損較大，易出現(xiàn)滾軸132磨壞卡死現(xiàn)象和過刻現(xiàn)象，影響刻蝕的均勻性；此外，在拉桿12與滾軸132摩擦運動時，摩擦產(chǎn)生的碎屑會掉在基板表面，影響刻蝕的良品率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種噴淋系統(tǒng)及濕法刻蝕裝置，用于提高刻蝕的良品率。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供以下技術(shù)方案：

一種噴淋系統(tǒng)，包括：

位置固定且相對設(shè)置的兩個支撐架；

位于所述兩個支撐架之間的多個等間距排列的噴淋管道組，每個所述噴淋管道組的兩端分別與兩個支撐架相連，每個所述噴淋管道組包含至少一個噴淋管道和至少一個轉(zhuǎn)軸，每個所述噴淋管道的至少一端與轉(zhuǎn)軸固定連接；每個所述噴淋管道具有多個噴嘴；

多個擺動塊，每個擺動塊的一端與一個所述轉(zhuǎn)軸固定連接，每個所述擺動塊在垂直于所述噴淋管道的平面內(nèi)擺動；

分別與所述多個擺動塊另一端連接的拉桿；

與所述拉桿傳動連接的動力裝置，所述拉桿在所述動力裝置的驅(qū)動下帶動所述多個擺動塊擺動，所述噴淋管道在對應(yīng)的擺動塊和轉(zhuǎn)軸的帶動下轉(zhuǎn)動；

以及分別與各個所述噴淋管道連通，為各個所述噴淋管道提供液體的液體供應(yīng)管道。

優(yōu)選地，每個所述支撐架為具有多個安裝孔的支撐塊，對應(yīng)的所述噴淋管道組的一端通過軸承安裝在所述安裝孔中。

優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)軸為空心圓筒，對應(yīng)的所述擺動塊固定在所述空心圓筒外表面，對應(yīng)的噴淋管道的一端伸入所述空心圓筒內(nèi)并固定。

優(yōu)選地，每個所述噴淋管道組還包括：位于兩個支撐架之間，用于承載所述噴淋管道的管道架。

較佳地，所述管道架為在長度方向開設(shè)有限位槽的圓柱體桿，對應(yīng)的所述噴淋管道安裝在所述限位槽中。

進一步地，上述噴淋系統(tǒng)還包括：至少一個固定板，所述固定板與所述轉(zhuǎn)軸相連接，且所述轉(zhuǎn)軸可繞自身軸心轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選地，每個所述固定板具有一個軸承孔，所述轉(zhuǎn)軸通過軸承安裝在所述軸承孔中。

進一步地，上述噴淋系統(tǒng)還包括：還包括：位于所述拉桿一端、檢測所述拉桿移動位置的位置傳感器。

優(yōu)選地，所述噴淋管道組包含兩個或兩個以上的噴淋管道，每兩個噴淋管道之間通過轉(zhuǎn)軸固定連接。

本實用新型同時還提供了一種濕法刻蝕裝置，包括具有上述特征的噴淋系統(tǒng)。

本實用新型提供的噴淋系統(tǒng)，通過動力裝置帶動拉桿前后移動來帶動多個擺動塊擺動，從而帶動分別與多擺動塊相連的多個轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，進而帶動噴淋管道組轉(zhuǎn)動以完成刻蝕液的噴淋；與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用本實用新型提供的噴淋系統(tǒng)，可以減輕各運動部件之間的摩擦損耗，減少了磨壞卡死現(xiàn)象、過刻現(xiàn)象出現(xiàn)以及摩擦碎屑產(chǎn)生，提高了刻蝕液噴淋的均勻性，從而提高了刻蝕的良品率；此外，本實用新型提供的噴淋系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡單，拆卸方便，易于對噴淋系統(tǒng)進行檢修和維護。

附圖說明