[實(shí)用新型]一種噴淋系統(tǒng)及濕法刻蝕裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320283801.4
• 申請(qǐng)日: 2013-05-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203295607U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫文昌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23F1/08
• 分類(lèi)號(hào): C23F1/08
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種噴淋系統(tǒng)，其特征在于，包括：

位置固定且相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)支撐架；

位于所述兩個(gè)支撐架之間的多個(gè)等間距排列的噴淋管道組，每個(gè)所述噴淋管道組的兩端分別與兩個(gè)支撐架相連，每個(gè)所述噴淋管道組包含至少一個(gè)噴淋管道和至少一個(gè)轉(zhuǎn)軸，每個(gè)所述噴淋管道的至少一端與轉(zhuǎn)軸固定連接；每個(gè)所述噴淋管道具有多個(gè)噴嘴；

多個(gè)擺動(dòng)塊，每個(gè)擺動(dòng)塊的一端與一個(gè)所述轉(zhuǎn)軸固定連接，每個(gè)所述擺動(dòng)塊在垂直于所述噴淋管道的平面內(nèi)擺動(dòng)；

分別與所述多個(gè)擺動(dòng)塊另一端連接的拉桿；

與所述拉桿傳動(dòng)連接的動(dòng)力裝置，所述拉桿在所述動(dòng)力裝置的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)所述多個(gè)擺動(dòng)塊擺動(dòng)，所述噴淋管道在對(duì)應(yīng)的擺動(dòng)塊和轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)；

以及分別與各個(gè)所述噴淋管道連通，為各個(gè)所述噴淋管道提供液體的液體供應(yīng)管道。

2.如權(quán)利要求1所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)所述支撐架為具有多個(gè)安裝孔的支撐塊，對(duì)應(yīng)的所述噴淋管道組的一端通過(guò)軸承安裝在所述安裝孔中。

3.如權(quán)利要求1所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸為空心圓筒，對(duì)應(yīng)的所述擺動(dòng)塊固定在所述空心圓筒外表面，對(duì)應(yīng)的噴淋管道的一端伸入所述空心圓筒內(nèi)并固定。

4.如權(quán)利要求1所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)所述噴淋管道組還包括：位于兩個(gè)支撐架之間，用于承載所述噴淋管道的管道架。

5.如權(quán)利要求4所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述管道架為在長(zhǎng)度方向開(kāi)設(shè)有限位槽的圓柱體桿，對(duì)應(yīng)的所述噴淋管道安裝在所述限位槽中。

6.如權(quán)利要求1所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，還包括：至少一個(gè)固定板，所述固定板與所述轉(zhuǎn)軸相連接，且所述轉(zhuǎn)軸可繞自身軸心轉(zhuǎn)動(dòng)。

7.如權(quán)利要求6所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，每個(gè)所述固定板具有一個(gè)軸承孔，所述轉(zhuǎn)軸通過(guò)軸承安裝在所述軸承孔中。

8.如權(quán)利要求1所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，還包括：位于所述拉桿一端、檢測(cè)所述拉桿移動(dòng)位置的位置傳感器。

9.如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述噴淋管道組包含兩個(gè)或兩個(gè)以上的噴淋管道，每?jī)蓚€(gè)噴淋管道之間通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定連接。

10.一種濕法刻蝕裝置，其特征在于，包括：如權(quán)利要求1-9任一所述的噴淋系統(tǒng)。