[實用新型]半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐的氣體供給裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320264068.1
• 申請日: 2013-05-15
• 公開（公告）號: CN203364622U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李言;黃瑞南;林榕
• 申請（專利權(quán)）人: 汕頭高新區(qū)松田實業(yè)有限公司
• 主分類號: F27D7/02
• 分類號: F27D7/02;H01G13/00
• 代理公司: 汕頭市潮睿專利事務(wù)有限公司 44230
• 代理人: 林天普;丁德軒

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及燒結(jié)設(shè)備，具體涉及一種半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐的氣體供給裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的用于燒成半導(dǎo)體陶瓷電容器的還原燒成爐，如鐘罩爐，只能間歇式使用，也就是說，將半導(dǎo)體陶瓷電容器生坯分批放入還原燒成爐（如鐘罩爐）中進(jìn)行燒結(jié)，上一批半導(dǎo)體陶瓷電容器生坯完成燒結(jié)并取出后，再將下一批半導(dǎo)體陶瓷電容器生坯放入還原燒成爐中進(jìn)行燒結(jié)。這種間歇式使用方式由于需要反復(fù)的升溫、降溫，因此一方面生產(chǎn)周期較長，生產(chǎn)效率較低，難以滿足大批量生產(chǎn)的使用要求，另一方面損失較多熱能，能耗較大。

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本申請人研發(fā)了一種能夠連續(xù)式使用的半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐，以提高生產(chǎn)效率，滿足大批量生產(chǎn)的使用要求，氣體供給裝置是該半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐的重要組成部分。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐的氣體供給裝置，這種氣體供給裝置能夠為半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐提供各個運行階段所需的氣體，確保半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐可靠安全地運行。采用的技術(shù)方案如下：

一種半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐的氣體供給裝置，其特征在于包括氮氫混合氣體供給裝置和氮氣供給裝置，氮氫混合氣體供給裝置的氮氫混合氣體供給口和氮氣供給裝置的氮氣供給口均連接至一總供氣管，氮氫混合氣體供給裝置的氮氫混合氣體供給口處設(shè)置有第一供氣開關(guān)電磁閥，氮氣供給裝置的氮氣供給口處設(shè)置有第二供氣開關(guān)電磁閥。

上述氣體供給裝置能夠通過總供氣管為半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐的相關(guān)部件提供所需的氮氫混合氣體或氮氣。第一供氣開關(guān)電磁閥開啟且第二供氣開關(guān)電磁閥關(guān)閉時，氮氫混合氣體供給裝置連通總供氣管，氣體供給裝置能夠供應(yīng)氮氫混合氣體；第一供氣開關(guān)電磁閥關(guān)閉且第二供氣開關(guān)電磁閥開啟時，氮氣供給裝置連通總供氣管，氣體供給裝置能夠供應(yīng)氮氣；第一供氣開關(guān)電磁閥和第二供氣開關(guān)電磁閥均關(guān)閉時，氣體供給裝置暫停供氣。

通常可采用三通管件實現(xiàn)氮氫混合氣體供給口、氮氣供給口和總供氣管之間的連接。

具有這種氣體供給裝置的一種半導(dǎo)體陶瓷電容器還原燒成爐，還包括爐體和爐膛，爐膛安裝在爐體上；爐膛包括爐管，爐管沿水平方向設(shè)置，爐管由自前至后依次相連接的爐管前段、爐管中段和爐管后段組成，爐管中段處在爐體的腔體內(nèi)，爐管前段和爐管后段處于爐體外；爐管中段的外壁上繞有鉬絲；爐管前段的前端設(shè)有爐管入口，爐管入口處設(shè)有入口爐門和第一火簾；爐管后段的后端設(shè)有爐管出口，爐管出口處設(shè)有出口爐門和第二火簾。上述氮氫混合氣體供給裝置為爐管的腔體提供氮氫混合氣體，使?fàn)t管內(nèi)的半導(dǎo)體陶瓷電容器生坯在氮氫混合氣體保護(hù)下的還原氣氛中燒結(jié)；上述氮氫混合氣體供給裝置為爐體的腔體提供氮氫混合氣體，使燒結(jié)過程中爐體內(nèi)充滿氮氫混合氣體，可起到保護(hù)鉬絲的作用；上述氮氫混合氣體供給裝置還可為第一火簾和第二火簾提供燃燒所需的氮氫混合氣體，點燃后形成火簾密封（其中起燃燒作用的是氫氣），在打開入口爐門或出口爐門的情況下能夠防止外界空氣進(jìn)入爐管，以保護(hù)爐管內(nèi)的還原氣氛，并防止?fàn)t管內(nèi)發(fā)生爆炸，確保使用的安全性。在進(jìn)行燒結(jié)之前，氮氣供給裝置為爐體腔體和爐管腔體提供氮氣，利用氮氣對爐體腔體和爐管腔體進(jìn)行清洗（也就是說利用氮氣置換爐體腔體和爐管腔體中原有的氣體）；在燒結(jié)完成之后，氮氣供給裝置為爐體腔體和爐管腔體提供氮氣，利用氮氣置換爐體腔體和爐管腔體中的氮氫混合氣體。

一種優(yōu)選方案中，上述氮氫混合氣體供給裝置包括液氨儲存罐、氨分解裝置、混合氣體輸送管和溢氣裝置；液氨儲存罐的出口通過氨輸送管與氨分解裝置連通，所述氨輸送管上安裝有第一減壓閥；溢氣裝置中裝有液體（例如水），混合氣體輸送管一端與氨分解裝置連通、另一端插入溢氣裝置中的液體中，溢氣裝置上設(shè)有所述氮氫混合氣體供給口。液氨儲存罐中的液氨經(jīng)第一減壓閥減壓后，形成氨氣并進(jìn)入氨分解裝置；氨分解裝置將氨氣分解成氮氫混合氣體（例如可在800～850℃下，在鎳基催化劑作用下，將氨氣進(jìn)行分解），氮氫混合氣體中氮氣與氫氣的摩爾比為1：3；氮氫混合氣體進(jìn)入溢氣裝置后（溢氣裝置中的液體可防止氣體倒流），能夠自氮氫混合氣體供給口對外供給氮氫混合氣體。氮氫混合氣體供給口可通過一氮氫混合氣體供給管連接總供氣管。

另一種方案中，上述氮氫混合氣體供給裝置也可包括氮氣儲罐和氫氣儲罐，其中氮氣儲罐提供氮氣，氫氣儲罐提供氫氣，氮氣和氫氣按比例混合后得到氮氫混合氣體。