[實(shí)用新型]光罩盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320263054.8
• 申請(qǐng)日: 2013-05-15
• 公開（公告）號(hào): CN203277341U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高海林;張學(xué)良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;B65D85/38;B65D25/10;G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造工藝過程中輔助設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種光罩盒。

背景技術(shù)

近年來電子產(chǎn)品不斷朝向輕薄短小、高頻、高效能等特性發(fā)展，而欲滿足這個(gè)產(chǎn)品發(fā)展的方向，用于電子產(chǎn)品中的核心半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件的芯片就需微小化與具有高效能，而欲使芯片微小化與具高效能，則需使芯片上的集成電路線徑微細(xì)化。芯片上集成電路線徑的微細(xì)化的成敗主要在于半導(dǎo)體工藝中的黃光微影工藝技術(shù)，其關(guān)鍵設(shè)備是在于光罩（photo?mask）。在半導(dǎo)體應(yīng)用中，將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光的的光罩，然后利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅圓即可曝光顯示特定圖案。

由于光罩在作業(yè)環(huán)境中，存在有不少的微粒、水氣、氣體、化學(xué)溶劑分子等有害物質(zhì)，這些有害物質(zhì)會(huì)附著于光罩表面，且在經(jīng)長時(shí)間儲(chǔ)存或晶圓曝光工藝的加熱后，會(huì)于光罩表面產(chǎn)生微粒附著、結(jié)晶、又或霧化等現(xiàn)象，而直接影響到光罩在黃光微影工藝中的透光率，進(jìn)而使光罩上的圖形失真，其會(huì)造成半導(dǎo)體元件或液晶顯示元件良率降低，且增加清理與改善的時(shí)間，造成生產(chǎn)量降低，相對(duì)上也會(huì)提高營運(yùn)的成本。因此在光罩存儲(chǔ)及運(yùn)輸中，光罩盒是一種重要工具，其可以有效防止光罩被污染。

但是在實(shí)際運(yùn)用過程中，現(xiàn)有的光罩盒設(shè)計(jì)容易誘導(dǎo)以下問題的產(chǎn)生：光罩盒內(nèi)的四個(gè)角落有若干堅(jiān)硬且銳利的固定器，主要用于固定光罩的作用，但是在用光罩夾將光罩放進(jìn)及取出光罩盒的過程中，柔軟的光罩薄膜面及玻璃面容易接觸到銳利的固定器，從而導(dǎo)致光罩破損，造成巨大浪費(fèi)。因此提供一種安全性更高的光罩盒實(shí)屬必要。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種光罩盒，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的光罩盒在光罩放進(jìn)及取出過程中容易導(dǎo)致破損的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種光罩盒，其包括一盒底以及與該盒底配合的盒蓋，所述盒底包括底部以及自該底部的側(cè)邊彎折延伸的第一側(cè)墻；所述盒底的底部設(shè)有至少四個(gè)第一固定器；所述第一固定器包括支撐臺(tái)階以及自該支撐臺(tái)階向上延伸的引導(dǎo)部；所述引導(dǎo)部包括底面、自該底面一側(cè)彎折延伸的引導(dǎo)面以及連接所述引導(dǎo)面和底面的側(cè)面；所述側(cè)面與所述盒底的第一側(cè)墻接觸；所述至少四個(gè)第一固定器的引導(dǎo)面與支撐臺(tái)階圍成用于收容光罩的收容腔；所述盒蓋包括頂部以及自該頂部的側(cè)邊彎折延伸的第二側(cè)墻；所述盒蓋的頂部設(shè)有至少四個(gè)第二固定器，所述第二固定器與所述第一固定器結(jié)構(gòu)相同。

可選地，所述引導(dǎo)面為弓形面或斜面。

可選地，所述盒底為方形，其底部設(shè)有四個(gè)第一固定器，分別位于每一側(cè)邊；所述盒底上的第一固定器與所述盒蓋上的第二固定器位置相對(duì)。

可選地，所述盒底為方形，其底部設(shè)有四個(gè)第一固定器，分別位于每一側(cè)邊；所述盒底上的第一固定器與所述盒蓋上的第二固定器位置錯(cuò)開。

可選地，所述盒底上的第一固定器的高度與所述盒底的第一側(cè)墻高度相等；所述盒蓋上的第二固定器的高度與所述盒蓋的第二側(cè)墻高度相等。

可選地，所述第一、第二固定器的材料包括具彈性的塑料。

如上所述，本實(shí)用新型的光罩盒，具有以下有益效果：光罩盒盒蓋及盒底內(nèi)均設(shè)有至少四個(gè)固定器，所述固定器包括支撐臺(tái)階以及自該支撐臺(tái)階向上延伸的引導(dǎo)部，所述引導(dǎo)部具有一弓形引導(dǎo)面或斜面引導(dǎo)面，所述至少四個(gè)第一固定器的引導(dǎo)面與支撐臺(tái)階圍成用于收容光罩的收容腔。本實(shí)用新型的光罩盒的固定器的引導(dǎo)面與光罩采用面接觸式，在方便光罩取放并限制光罩在光罩盒內(nèi)左右移動(dòng)的同時(shí)，還避免了在光罩放進(jìn)及取出光罩盒時(shí)柔軟的光罩薄膜面被劃傷；本實(shí)用新型的光罩盒的盒蓋及盒底均設(shè)有固定器，所述固定器的支撐臺(tái)階支撐光罩的邊緣，使得無論光罩盒正放或倒放均能避免光罩的薄膜面及玻璃面因接觸光罩盒頂面或底面而造成破損；本實(shí)用新型的光罩盒盒內(nèi)的固定器數(shù)目較少，可以節(jié)約光罩盒的制造成本。

附圖說明

圖1顯示為本實(shí)用新型的光罩盒內(nèi)裝有光罩且盒蓋打開時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2顯示為本實(shí)用新型的光罩盒的具有弓形引導(dǎo)面的第一固定器的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3顯示為本實(shí)用新型的光罩盒的具有斜面引導(dǎo)面的第一固定器的結(jié)構(gòu)示意圖。

元件標(biāo)號(hào)說明

1盒底

11底部

12第一側(cè)墻

13第一固定器

131支撐臺(tái)階

132引導(dǎo)面

2盒蓋

21頂部

22第二側(cè)墻

23第二固定器

3光罩

具體實(shí)施方式