[實用新型]光罩盒

有效

• 申請號: 201320263054.8
• 申請日: 2013-05-15
• 公開（公告）號: CN203277341U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 高海林;張學良
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;B65D85/38;B65D25/10;G03F7/20
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種光罩盒，其包括一盒底以及與該盒底配合的盒蓋，其特征在于，所述盒底包括底部以及自該底部的側邊彎折延伸的第一側墻；所述盒底的底部設有至少四個第一固定器；所述第一固定器包括支撐臺階以及自該支撐臺階向上延伸的引導部；所述引導部包括底面、自該底面一側彎折延伸的引導面以及連接所述引導面和底面的側面；所述側面與所述盒底的第一側墻接觸；所述至少四個第一固定器的引導面與支撐臺階圍成用于收容光罩的收容腔；所述盒蓋包括頂部以及自該頂部的側邊彎折延伸的第二側墻；所述盒蓋的頂部設有至少四個第二固定器，所述第二固定器與所述第一固定器結構相同。

2.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述引導面為弓形面或斜面。

3.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述盒底為方形，其底部設有四個第一固定器，分別位于每一側邊；所述盒底上的第一固定器與所述盒蓋上的第二固定器位置相對。

4.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述盒底為方形，其底部設有四個第一固定器，分別位于每一側邊；所述盒底上的第一固定器與所述盒蓋上的第二固定器位置錯開。

5.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述盒底上的第一固定器的高度與所述盒底的第一側墻高度相等；所述盒蓋上的第二固定器的高度與所述盒蓋的第二側墻高度相等。

6.根據權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述第一、第二固定器的材料包括具彈性的塑料。