[實用新型]研磨工件用研磨墊及化學(xué)機(jī)械研磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320262515.X
• 申請日: 2013-05-14
• 公開（公告）號: CN203305049U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 石井游;伊藤賢也;高橋正三;鈴木美加
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B24B37/22
• 分類號: B24B37/22;B24B37/00;B24B37/24
• 代理公司: 上海市華誠律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 梅高強(qiáng);劉煜

1.一種研磨墊，用于研磨工件，該研磨墊的特征在于，具有：

具有研磨面的彈性墊；

支承所述彈性墊的變形自如的基層；以及

將所述彈性墊與所述基層接合的粘接層。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述基層比所述彈性墊厚。

3.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述基層具有所述彈性墊的厚度的至少3倍的厚度。

4.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述基層比所述彈性墊柔軟。

5.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述粘接層具有比所述彈性墊大的伸縮性。

6.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述粘接層由能維持柔軟狀態(tài)的粘接劑形成。

7.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述彈性墊由發(fā)泡聚酯形成。

8.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述基層由聚氨酯海綿形成。

9.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述粘接層由丙烯類的粘接劑形成。

10.一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，用于研磨工件，該化學(xué)機(jī)械研磨裝置的特征在于，具有：

權(quán)利要求1至9中任一項所述的研磨墊；

支承所述研磨墊的可旋轉(zhuǎn)的研磨臺；

對所述工件進(jìn)行保持、將所述工件按壓在所述研磨墊上的托架；

使所述托架繞該托架的軸心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；以及

將研磨液供給到所述研磨墊上的研磨液供給機(jī)構(gòu)。

11.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述托架具有擺動機(jī)構(gòu)，該擺動機(jī)構(gòu)使所述工件以通過該工件的被研磨面近旁的規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸線為中心擺動。

12.如權(quán)利要求10所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，還具有提升機(jī)構(gòu)，該提升機(jī)構(gòu)將向上的力賦予所述托架，從而調(diào)整所述工件的研磨壓力。

13.一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，具有：

對研磨墊進(jìn)行支承的可旋轉(zhuǎn)的研磨臺；

將所述工件按壓到所述研磨墊上的托架；

使所述托架繞該托架的軸心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；以及

將研磨液供給到所述研磨墊上的研磨液供給機(jī)構(gòu)，

所述托架具有使所述工件擺動的擺動機(jī)構(gòu)，

所述擺動機(jī)構(gòu)具有：

對所述工件進(jìn)行保持的工件保持部；

轉(zhuǎn)動促動器，在使所述工件與所述研磨墊接觸的狀態(tài)下，該轉(zhuǎn)動促動器使所述工件保持部繞規(guī)定的回旋軸線以規(guī)定角度擺動。

14.如權(quán)利要求13所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述擺動機(jī)構(gòu)還具有將所述工件保持部與所述轉(zhuǎn)動促動器連接起來的至少一個旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)，

所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，可變更所述工件保持部相對于所述轉(zhuǎn)動促動器的相對角度。

15.如權(quán)利要求14所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)將所述工件保持部支承成繞與所述回旋軸線平行的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)自如。

16.如權(quán)利要求15所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述至少一個旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)包括第1旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)和第2旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)，

所述第1旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)將所述工件保持部與所述第2旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)連接，并將所述工件保持部支承成繞與所述回旋軸線平行的第1旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)自如，

所述第2旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)將所述第1旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)與所述轉(zhuǎn)動促動器連接，并將所述第1旋轉(zhuǎn)連接機(jī)構(gòu)支承成繞與所述回旋軸線及所述第1旋轉(zhuǎn)軸線平行的第2旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)自如。

17.如權(quán)利要求13所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述工件具有應(yīng)研磨的第1面、第2面以及將所述第1面與所述第2面連接起來的彎曲面，

所述規(guī)定角度是所述第1面與所述第2面所構(gòu)成的角度。

18.如權(quán)利要求13所述的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述托架還具有沿所述工件的被研磨面的緣部將該工件覆蓋的罩蓋部件。