[實用新型]晶粒選取設備

有效

• 申請號: 201320259462.6
• 申請日: 2013-05-14
• 公開（公告）號: CN203281518U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 廖惇材;林宏毅
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: B07C5/00
• 分類號: B07C5/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

1.一種晶粒選取設備，其特征在于包含有：

一位移裝置；

一軟性薄膜，呈實質上平行于一第一軸向及一第二軸向的姿態，并能受所述位移裝置帶動沿所述第一軸向及所述第二軸向二者至少其中之一位移地設置于所述位移裝置，所述軟性薄膜具有朝向相反方向的一第一表面及一第二表面，所述第一表面用于黏設多個晶粒；

一影像擷取裝置，設置于能拍攝各所述晶粒的位置；

一黏性薄膜，與所述軟性薄膜相對固定，且所述黏性薄膜具有一黏貼面，所述黏貼面面對所述軟性薄膜的第一表面；

一頂推裝置，具有一與所述軟性薄膜的第二表面相對的頂推件，通過所述頂推件隔著所述軟性薄膜頂推一所述晶粒，進而使所述受頂推的晶粒黏附于所述黏性薄膜的黏貼面。

2.如權利要求1所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述頂推裝置的頂推件通過沿一垂直于所述第一軸向及所述第二軸向的第三軸向移動而頂推所述軟性薄膜。

3.如權利要求1或2所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述黏性薄膜能透光，使所述影像擷取裝置能隔著所述黏性薄膜拍攝各所述晶粒。

4.如權利要求3所述的晶粒選取設備，其特征在于：還包含有一與所述軟性薄膜的第二表面相對的照明裝置，且所述軟性薄膜能透光。

5.一種晶粒選取設備，其特征在于包含有：

一位移裝置；

一軟性薄膜，呈實質上平行于一第一軸向及一第二軸向的姿態，并能受所述位移裝置帶動而沿所述第一軸向及所述第二軸向二者至少其中之一位移地設置于所述位移裝置，所述軟性薄膜具有朝向相反方向的一第一表面及一第二表面，所述第一表面用于黏設多個晶粒；

一黏性薄膜，能透光且具有朝向相反方向的一黏貼面及一抵靠面，所述黏貼面面對所述軟性薄膜的第一表面；

一頂推裝置，具有一與所述軟性薄膜的第二表面相對的頂推件，通過所述頂推件隔著所述軟性薄膜頂推一所述晶粒，進而使所述受頂推的晶粒黏附于所述黏性薄膜的黏貼面；

一影像擷取裝置，設置于能隔著所述黏性薄膜拍攝各所述晶粒的位置；

一支撐裝置，具有一能擺動的擺臂，以及一設置于所述擺臂并能被所述擺臂帶動至一作用位置的支撐件，所述支撐件位于所述作用位置時與所述黏性薄膜的抵靠面相對且對應于所述頂推件，以供受所述頂推件頂推的晶粒隔著所述黏性薄膜抵靠于所述支撐件。

6.如權利要求5所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述支撐裝置的擺臂繞一實質上垂直于所述第一軸向及所述第二軸向的第三軸向擺動，且所述頂推裝置的頂推件及所述支撐裝置的支撐件能分別沿所述第三軸向地移動。

7.如權利要求5或6所述的晶粒選取設備，其特征在于：還包含有一與所述軟性薄膜的第二表面相對的照明裝置，且所述軟性薄膜能透光。

8.如權利要求7所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述黏性薄膜與所述軟性薄膜相對固定。

9.如權利要求5或6所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述黏性薄膜與所述軟性薄膜相對固定。

10.如權利要求5或6所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述支撐件具有一軟性部，以供受所述頂推件頂推的晶粒隔著所述黏性薄膜抵靠于所述軟性部。

11.如權利要求10所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述支撐件的軟性部的材質為硅膠或橡膠，所述軟性部的硬度為蕭氏硬度A50～A70。

12.如權利要求11所述的晶粒選取設備，其特征在于：還包含有一與所述軟性薄膜的第二表面相對的照明裝置，且所述軟性薄膜能透光。

13.如權利要求12所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述黏性薄膜與所述軟性薄膜相對固定。

14.如權利要求5所述的晶粒選取設備，其特征在于：所述支撐件具有一真空通道，所述真空通道連接至一真空壓力源。