[實用新型]一種等離子體放電裝置

有效

• 申請號: 201320250951.5
• 申請日: 2013-05-09
• 公開（公告）號: CN203261566U
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 張波;吳正勇;陶永德;周保牛;吳小邦;朱葛俊
• 申請（專利權）人: 常州機電職業技術學院
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 路接洲

技術領域

本實用新型涉及一種放電裝置，尤其涉及的是一種等離子體多層放電裝置。

背景技術

等離子體放電技術常用于材料的表面改性，其中等離子體放電裝置的電極組件設計是其技術關鍵。常規放電裝置一般采用單對電極放電，功能單一，電源和空間利用率低，且電極未采用電磁屏蔽設計，等離子體不能有效的集中，能量損失較大，這勢必會影響到處理效果的有效性和重復性。多功能用途的等離子體多層放電裝置可以較方便地實現高分子材料表面改性、納米材料表面交聯改性以及農作物種子激活，結構簡單、操作方便、處理結果重復性好。

經對現有技術的文獻檢索發現，現有的文獻主要集中在等離子體單層電極放電來進行材料的表面改性，且用途單一、電源和裝置空間利用率低。在進一步的檢索中，尚未發現關于多功能用途的等離子體多層放電裝置的相關報道。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種等離子體放電裝置，能夠極大的提高等離子體放電裝置的電源使用率和并提高真空容器的空間利用率，從而提高等離子體處理材料的生產效率。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種等離子體放電裝置，包含電源、真空容器和設置在真空容器內壁上的支架，放置在所述支架上的電極組件，所述電極組件由2個側電極和至少1個中間電極所組成，所述中間電極為導電金屬，所述側電極分別由導電層、絕緣層和屏蔽金屬層疊加而成。

進一步的，所述的導電層、絕緣層和屏蔽金屬層分別由銅合金、聚四氟乙烯和不銹鋼制成。

進一步的，所述的導電層的厚度為1mm，絕緣層的厚度為5mm，屏蔽金屬層厚度為1mm；所述中間電極和側電極的尺寸均為600mm×400mm，中間電極和側電極之間的距離可調整，范圍為20mm-50mm。

進一步的，所述電極組件由2個側電極和1個中間電極組成。

進一步的，所述電極組件由2個側電極和2個中間電極組成。

進一步的，所述電極組件由2個側電極和3個中間電極組成。

本實用新型的有益效果是，解決了背景技術中存在的缺陷，采用上述技術方案后，等離子體放電裝置的電源使用率和真空容器的空間利用率可以獲得極大的提高，從而提高利用等離子體處理材料的效率。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2本實用新型的第一實施例；

圖3本實用新型的第二實施例；

圖4本實用新型的第三實施例；

圖5側電極的結構示意圖；

圖中：1.真空容器；2.射頻電源系統；3.電極組件；31.側電極；311.導電層；312.絕緣層；313.屏蔽金屬層；32.中間電極；4.支架。

具體實施方式

現在結合附圖和優選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1～圖2所示：一種等離子體放電裝置，包含射頻電源系統2、真空容器1和設置在真空容器1內壁上的支架4，放置在所述支架4上的電極組件3，所述電極組件3由2個側電極31和至少1個中間電極32所組成，所述中間電極32為導電金屬，所述側電極31分別由導電層311、絕緣層312和屏蔽金屬層313疊加而成。

進一步的，所述的導電層311、絕緣層312和屏蔽金屬層313分別由銅合金、聚四氟乙烯和不銹鋼制成。

進一步的，所述的導電層311的厚度為1mm，絕緣層312的厚度為5mm，屏蔽金屬層313厚度為1mm；所述中間電極32和側電極31的尺寸均為600mm×400mm，中間電極32和側電極31之間的距離可調整，范圍為20mm-50mm。

進一步的，所述電極組件3由2個側電極31和1個中間電極32組成。

進一步的，所述電極組件3由2個側電極31和2個中間電極32組成。

進一步的，所述電極組件3由2個側電極31和3個中間電極32組成。

本實用新型的工作原理如下：真空容器1內部主要有電極組件3，電極組件3形成2對至4對電極，電極間可形成等離子體多層等離子體放電區，電極之間采用交叉并聯后分別與射頻電源相連接，以保證相鄰二電極的極性相反。

以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式，各種舉例說明不對本實用新型的實質內容構成限制，所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明書后可以對以前所述的具體實施方式做修改或變形，而不背離實用新型的實質和范圍。