[實用新型]一種等離子體放電裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320250951.5
• 申請日: 2013-05-09
• 公開（公告）號: CN203261566U
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張波;吳正勇;陶永德;周保牛;吳小邦;朱葛俊
• 申請（專利權(quán)）人: 常州機(jī)電職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 路接洲

1.一種等離子體放電裝置，包含射頻電源系統(tǒng)（2）、真空容器（1）和設(shè)置在真空容器（1）內(nèi)壁上的支架（4），其特征在于：具有放置在所述支架（4）上的電極組件（3），所述電極組件（3）由2個側(cè)電極（31）和至少1個中間電極（32）所組成，所述中間電極（32）為導(dǎo)電金屬，所述側(cè)電極（31）分別由導(dǎo)電層（311）、絕緣層（312）和屏蔽金屬層（313）疊加而成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體放電裝置，其特征在于：所述的導(dǎo)電層（311）、絕緣層（312）和屏蔽金屬層（313）分別為銅合金導(dǎo)電層、聚四氟乙烯絕緣層和不銹鋼屏蔽金屬層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種等離子體放電裝置，其特征在于：所述的導(dǎo)電層（311）的厚度為1mm，絕緣層（312）的厚度為5mm，屏蔽金屬層（313）厚度為1mm；所述中間電極（32）和側(cè)電極（31）的尺寸均為600mm×400mm，中間電極（32）和側(cè)電極（31）之間的距離可調(diào)整，范圍為20mm-50mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種等離子體放電裝置，其特征在于：所述電極組件（3）由2個側(cè)電極（31）和1個中間電極（32）組成。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種等離子體放電裝置，其特征在于：所述電極組件（3）由2個側(cè)電極（31）和2個中間電極（32）組成。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種等離子體放電裝置，其特征在于：所述電極組件（3）由2個側(cè)電極（31）和3個中間電極（32）組成。