[實用新型]一種磁傳感器結構

有效

• 申請號: 201320245005.1
• 申請日: 2013-04-25
• 公開（公告）號: CN203287508U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 文明;徐磊磊;熊紅斌
• 申請（專利權）人: 文明
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及傳感器領域，尤其涉及到一種磁傳感器結構。

背景技術

磁傳感器將磁信號轉化為電信號，廣泛的應用于生活、工業、航空等各行各業。各向異性磁電阻傳感器，其室溫下的磁電阻值只有2％左右，但是其飽和場地，具有很高的磁場靈敏度，因此，各向異性磁電阻傳感器也是廣泛的應用在工業控制領域。但是，巨磁電阻傳感器出現之后，各向異性磁電阻傳感器的優勢不再明顯。如何提高各向異性磁電阻傳感器的磁電阻數值對于未來更高靈敏度的磁傳感器來說具有重要的意義。

實用新型內容

針對各向異性磁電阻數值低的問題，本實用新型提供一種磁傳感器結構，能夠增加各向異性磁電阻傳感器的磁電阻的數值，提高其磁場探測的靈敏度。本實用新型所采取的技術方案為，一種磁傳感器結構，包括襯底、各向異性磁電阻傳感單元，其中，N個各向異性磁電阻傳感單元沉積在襯底上，且N大于1；各向異性磁電阻傳感單元包括鉑電極、各向異性敏感層、金電極，且鉑電極位于最底層，各向異性敏感層位于鉑電極上，金電極位于各向異性敏感層上。

本實用新型的各向異性磁電阻傳感器包含多個傳感單元，能夠增加各向異性磁電阻傳感器的磁電阻的數值，且各向異性敏感層位于鉑電極和金電極之間，能夠增加電子的反射，降低噪音，提高其磁場探測的靈敏度。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中：1襯底、2各向異性磁電阻傳感單元、21鉑電極、22各向異性敏感層、23金電極。

具體實施方式

以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。

圖1為本實用新型的結構示意圖，襯底1、各向異性磁電阻傳感單元2、鉑電極21、各向異性敏感層22、金電極23，其中，N個各向異性磁電阻傳感單元2沉積在襯底1上，且N大于1；各向異性磁電阻傳感單元2包括鉑電極21、各向異性敏感層22、金電極23，且鉑電極21位于最底層，各向異性敏感層22位于鉑電極21上，金電極23位于各向異性敏感層22上。本實用新型的各向異性磁電阻傳感器包含多個傳感單元，能夠增加各向異性磁電阻傳感器的磁電阻的數值，且各向異性敏感層22位于鉑電極21和金電極23之間，能夠增加電子的反射，降低噪音，提高其磁場探測的靈敏度。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本發明的原理，在不脫離本發明精神和范圍的前提下，本發明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發明范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。