[實用新型]一種磁傳感器結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320245005.1 | 申請日: | 2013-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN203287508U | 公開(公告)日: | 2013-11-13 |
| 發(fā)明(設計)人: | 文明;徐磊磊;熊紅斌 | 申請(專利權)人: | 文明 |
| 主分類號: | G01R33/09 | 分類號: | G01R33/09 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 315175 浙江省寧波市鄞*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 傳感器 結(jié)構(gòu) | ||
【權利要求書】:
1.一種磁傳感器結(jié)構(gòu),包括襯底、各向異性磁電阻傳感單元,其特征在于:
所述的N個各向異性磁電阻傳感單元沉積在襯底上,且N大于1;
所述的各向異性磁電阻傳感單元包括鉑電極、各向異性敏感層、金電極,且鉑電極位于最底層,各向異性敏感層位于鉑電極上,金電極位于各向異性敏感層上。
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