[實用新型]一種氣體反應器內壓強控制裝置有效
| 申請號： | 201320238584.7 | 申請日： | 2013-05-06 |
| 公開（公告）號： | CN203238325U | 公開（公告）日： | 2013-10-16 |
| 發明（設計）人： | 袁方園 | 申請（專利權）人： | 袁方園 |
| 主分類號： | C23C14/54 | 分類號： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 262700 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 氣體 反應器 壓強 控制 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種氣體反應器內壓強控制裝置，其特征在于，包括處理器、輸入按鍵、流量傳感器、流量控制器以及與流量控制器連接的進氣閥門，其中流量傳感器與處理器的輸入端連接，流量控制器與處理器的輸出端連接，處理器的輸入端還連接有輸入按鍵。
2.???按照權利要求1所述的氣體反應器內壓強控制裝置，其特征在于，所述處理器的輸入端還連接有氣體壓強傳感器。
3.???按照權利要求1所述的氣體反應器內壓強控制裝置，其特征在于，所述處理器的輸出端連接有顯示屏。
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