[實用新型]感光光阻檢驗裝置

有效

• 申請號: 201320232496.6
• 申請日: 2013-05-02
• 公開（公告）號: CN203224455U
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發明（設計）人: 周志華;唐根初;唐彬;敖鶴;陳靖東
• 申請（專利權）人: 蘇州歐菲光科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01B11/06
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

技術領域

本實用新型涉及絲網印刷領域，特別是涉及一種感光光阻檢驗裝置。

背景技術

隨著TP（Touch?Panel，觸摸屏）行業的激烈競爭，觸摸屏技術不斷更新和創新，黃光制程以其獨特的優點成為了目前TP行業不可或缺的技術之一。黃光制程以其他普通觸摸屏制程相比，優勢在于黃光能制備高端窄邊框TP產品，能做到這一點其關鍵因素在于其利用了曝光顯影模式制備出細線路（線路大小為30/30μm，甚至更小），然而影響細線路粗細的因素很多，主要有感光光阻的固有特性、光阻的印刷厚度、光阻的均一性、曝光能量等等，尤其是對光阻印刷厚度和光阻的均一性控制。

感光銀漿是感光光阻的一種，它的解像原理和黃光銅制程基本相同。它們之間的不同點在于光阻的厚度不同，黃光銅制程的感光光阻厚度在15-25μm之間，厚度很難涂薄，因為當感光光阻涂薄時會導致光阻透空。但對于感光銀漿來說，感光銀漿的厚度不能在上述厚度，必須嚴格控制銀漿厚度在5-6μm之間，否者會影響曝光顯影的效果，但如果要控制在此厚度，對于目前的印刷技術較難，印刷時很容易導致印刷透空，導致通過曝光顯影做出的細線路容易出現斷線現象。

感光光阻在白光下容易固化變質，因此感光光阻的印刷和涂覆必須在黃光下進行。但是在此燈光下印刷，面臨的難題就是印刷透空檢驗非常困難，正常的銀漿和耐酸印刷漏空檢驗是在很強的白光下檢驗透空現象，但對于感光光阻并不適用。

實用新型內容

基于此，有必要提出一種能夠檢驗在黃光下印刷或涂覆的感光光阻的感光光阻檢驗裝置。

一種感光光阻檢驗裝置，包括：

用以發出黃光的黃光燈管；及

容納所述黃光燈管且能屏蔽黃光的燈箱，所述燈箱留有供所述黃光燈管發出的光透出的透光口，所述透光口處覆蓋有具有透光能力的用以放置感光光阻的燈罩。

在其中一個實施例中，所述燈罩包括覆蓋所述透光口的透明玻璃，所述透明玻璃具有與所述黃光燈管相對的底面和與所述底面相對的頂面，所述頂面用來放置感光光阻。

在其中一個實施例中，其中所述透明玻璃的底面上涂有導光膜或導光粉。

在其中一個實施例中，所述燈罩還包括置于所述透明玻璃的底面下方的散光板，所述散光板貼在所述透明玻璃的底面上或與所述透明玻璃的底面間隔設置。

在其中一個實施例中，所述散光板為白色PP板或白色PVC板。

在其中一個實施例中，所述燈箱內還設置有反光板，所述黃光燈管置于所述反光板和所述透光口之間。

在其中一個實施例中，所述黃光燈管有多個，在所述燈箱內并排放置。

在其中一個實施例中，所述燈箱的形狀為圓柱體、正方體或長方體。

在其中一個實施例中，所述燈箱為鐵皮或者塑料遮光材質制成的燈箱；或所述燈箱外圍包裹有鐵片或塑料遮光材質。

在其中一個實施例中，所述燈箱外設置有控制所述黃光燈管發光強度的開關。

上述感光光阻檢驗裝置，利用黃光照射感光光阻的第一表面，通過觀察感光光阻相對的第二表面是否有出現亮點，并根據亮點的強弱判斷是否存在透空，能夠檢驗在黃光下印刷或涂覆的感光光阻是否存在透空，簡單可靠且效率高。

附圖說明

圖1為一實施例的感光光阻檢驗方法的流程圖；

圖2為一實施例的感光光阻檢驗裝置的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型感光光阻檢驗方法及裝置的構思是：利用光的透射原理，具體原理是一束光照射到感光光阻上，如果感光光阻本身的厚度不同，則不同厚度處對光的反射和透過率不同，所以在感光光阻表面將呈現強弱不同的亮點，此時，根據亮點強弱，利用裸眼就可以判斷某個亮點處是否存在透空。

請參考圖1，一個實施例的感光光阻檢驗方法，步驟如下：

S110、利用黃光照射感光光阻的第一表面。本實施例中，利用黃光照射感光光阻的一個表面，此處記為第一表面。黃光為面光源發出的平面光束，以便能夠照射到第一表面時，感光光阻的第一表面上各處均有黃光覆蓋，且強度均勻，便于觀察感光光阻是否出現亮點。需指出，如果是點光源發出的黃光，也是可以的。當黃光為平面光束，黃光照射到感光光阻的第一表面時，可以垂直于第一表面，也可以與第一表面呈銳角設置。

本實施例中，照射感光光阻的第一表面的黃光的產生方式如下：