[實用新型]感光光阻檢驗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320232496.6
• 申請日: 2013-05-02
• 公開（公告）號: CN203224455U
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發(fā)明（設計）人: 周志華;唐根初;唐彬;敖鶴;陳靖東
• 申請（專利權）人: 蘇州歐菲光科技有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01B11/06
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種感光光阻檢驗裝置，其特征在于，包括：

用以發(fā)出黃光的黃光燈管；及

容納所述黃光燈管且能屏蔽黃光的燈箱，所述燈箱留有供所述黃光燈管發(fā)出的光透出的透光口，所述透光口處覆蓋有具有透光能力的用以放置感光光阻的燈罩。

2.根據(jù)權利要求1所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述燈罩包括覆蓋所述透光口的透明玻璃，所述透明玻璃具有與所述黃光燈管相對的底面和與所述底面相對的頂面，所述頂面用來放置感光光阻。

3.根據(jù)權利要求2所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，其中所述透明玻璃的底面上涂有導光膜或?qū)Ч夥邸?/p>

4.根據(jù)權利要求2所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述燈罩還包括置于所述透明玻璃的底面下方的散光板，所述散光板貼在所述透明玻璃的底面上或與所述透明玻璃的底面間隔設置。

5.根據(jù)權利要求4所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述散光板為白色PP板或白色PVC板。

6.根據(jù)權利要求1所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述燈箱內(nèi)還設置有反光板，所述黃光燈管置于所述反光板和所述透光口之間。

7.根據(jù)權利要求1所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述黃光燈管有多個，在所述燈箱內(nèi)并排放置。

8.根據(jù)權利要求1所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述燈箱的形狀為圓柱體、正方體或長方體。

9.根據(jù)權利要求1所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述燈箱為鐵皮或者塑料遮光材質(zhì)制成的燈箱；或所述燈箱外圍包裹有鐵片或塑料遮光材質(zhì)。

10.根據(jù)權利要求1所述的感光光阻檢驗裝置，其特征在于，所述燈箱外設置有控制所述黃光燈管發(fā)光強度的開關。