[實用新型]六自由度調節機構

有效

• 申請號: 201320232313.0
• 申請日: 2013-05-02
• 公開（公告）號: CN203300945U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 丁金濱;李少華;劉斌;沙鵬飛;周翊;王宇;趙江山
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03;H01S3/034
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

技術領域

本實用新型涉及安裝與校準技術領域，具體涉及一種六自由調節機構，尤其適用于較重激光器拆裝時對光軸與光路系統的裝調與對準的調節機構。

背景技術

諸如準分子激光器的激光器的整機部件較重，在整機集成或更換激光器時，激光器放電腔的光軸與整個激光器光路系統的光軸要保持重合，這就給安裝激光器提出了較高的要求。因此，一種能夠實現在既有光路系統下工作的調節機構是必不可少的。

圖1和圖2顯示了準分子激光器的放電腔的安裝示意圖，圖1和圖2均為俯視圖，且圖1顯示的是單腔雙電極激光器的放電腔，圖2顯示的是單腔單電極激光器的放電腔。

如圖1和圖2所示，放電腔3放置于平臺1上，平臺1上還安裝有光學模塊2，圖中ax為激光器的光軸，2a為單腔雙電極結構的后端反射光學模塊，3a為單腔單電極的前端輸出光學模塊。在激光器的安裝和更換時，需要將光學模塊2以及平臺1的出光孔進行光路對準。由于放電腔3在安裝時光路的對準需要極細微的位置調整，又由于激光器本身太重150Kg左右，因此人力無法實現。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型所要解決的技術問題是提出一種輔助機械調節機構，以實現對諸如激光器放電腔等裝置進行六自由度的宏動及微動調節以實現光路對準。

(二)技術方案

為解決上述技術問題，本實用新型提出一種六自由度調節機構，包括兩個調節器，該兩個調節器分別安裝于被調節裝置的前后兩端，且每個調節器包括一個萬向輪裝置和兩個升降裝置；所述被調節裝置的安裝平面為XY平面，該XY平面的X軸方向為被調節裝置的縱向，該XY平面的Y軸方向為垂直于X軸的方向，所述Z軸方向是垂直于該安裝平面的方向；所述兩個調節器的萬向輪裝置共同調節所述被調節裝置在XY平面內的平移和在Z軸的轉動；所述兩個調節器的升降裝置共同調節所述被調節裝置在Z軸方向的高度和繞所述XY平面的X、Y軸的轉動。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述萬向輪裝置包括萬向輪支架和分別安裝于萬向輪支架兩端的兩個萬向輪。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述萬向輪支架的主體部分是一個扁長形機構，其長度方向平行于Y軸方向，該萬向輪支架通過該主體部分與所述被調節裝置固定連接。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述兩個調節器的四個升降裝置分別安裝在所述被調節裝置的四個底角位置，每個升降裝置包括用于固定連接并支承所述被調節裝置的升降裝置支架。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述升降裝置還包括導向頭，所述導向頭的上部為圓球形構件，所述升降裝置支架的下部具有一個球窩結構，通過所述圓球形構件與球窩結構配合的方式連接所述導向頭與所述升降裝置支架。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述升降裝置還包括垂直導向器、調整螺桿、減震器、鎖緊螺母；所述導向頭通過下部的螺紋孔與所述調整螺桿連接，所述調整螺桿上部為螺紋結構，通過調整該調整螺桿與所述導向頭的配合螺紋圈數，來實現對所述導向頭的高度的調整；所述垂直導向器用于容納所述調整螺桿的下部，并與所述減震器固連；所述減震器與所述被調節裝置的一個安裝平臺固連；所述鎖緊螺母用于在調整完畢后對所述調整螺桿的鎖緊。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述升降裝置還包括上部導向塊與下部導向塊，所述下部導向塊與上部導向塊通過銷軸進行連接，使得所述下部導向塊相對于所述上部導向塊做繞Y軸的單方向旋轉運動；所述升降裝置支架的下部通過銷軸連接方式與所述上部導向塊連接，使得上部導向塊可以相對于所述升降裝置支架做繞X軸的單方向旋轉運動。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述升降裝置還包括垂直導向器、調整螺桿、減震器、鎖緊螺母；所述下部導向塊通過下部的螺紋孔與所述調整螺桿連接，所述調整螺桿上部為螺紋結構，通過調整該調整螺桿與下部導向塊的配合螺紋圈數，來實現對所述下部導向塊的高度的調整；所述垂直導向器用于容納所述調整螺桿的下部，并與所述減震器固連；所述減震器與所述被調節裝置的一個安裝平臺固連；所述鎖緊螺母用于在調整完畢后對所述調整螺桿的鎖緊。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述調整螺桿的下部為光桿結構，其與所述垂直導向器配合可在垂直方向自由滑動。

根據本實用新型的一種具體實施方式，所述調整螺桿的下部為螺紋結構，所述垂直導向器具有與所述調整螺桿的下部的螺紋結構配合的螺紋圈。

(三)有益效果