[實用新型]一種線寬測量機

有效

• 申請號: 201320229568.1
• 申請日: 2013-04-27
• 公開（公告）號: CN203454970U
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 龔長勇;孫林;汪雄;魯成祝;黃炳相
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G02F1/13
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 王黎延;張振偉

技術領域

本實用新型涉及液晶顯示技術領域中的線寬測量技術，尤其涉及一種線寬測量機。?

背景技術

現有的TFT液晶顯示器的制備過程中所使用的線寬測量機的結構如圖1所示，包括：測試鏡頭固定梁11、測試鏡頭12、光纖13、光柵14和光源15組成的燈箱16、信息處理器17、測試機臺18。其中，所述測試鏡頭12設置于所述測試鏡頭固定梁11下部、所述測試鏡頭12可沿平行于所述測試鏡頭固定梁11的方向在所述測試鏡頭固定梁11水平移動，所述測試鏡頭固定梁11可在垂直于自身的水平方向上移動；所述測試鏡頭12通過光纖13與所述燈箱16相連，光纖13將燈箱16發出的測試光傳輸到測試鏡頭12，所述燈箱16中的光柵14用于控制光源15發出的光線通過量，并與濾光片共同作用提供單色光；所述信息處理器17與所述燈箱16以及所述測試鏡頭12電連接；如圖2（a）所示，所述燈箱16中還包括濾光片110。實際應用過程中，待測試基板19至于所述測試機臺18上。目前，所述光源15通常為鹵素燈，但由于其使用壽命有限，且在使用過程中照度會持續衰減，進而導致到達測試鏡頭12的光量變弱而最終導致測試準確性變差。?

現有技術通過定期的手動校正來實現消除因光源衰減造成的測量誤差。其做法是定期在線寬測量機上通過手動模式對各個薄膜晶體管液晶顯示器的掃描式電子顯微鏡標準片或標準掩膜版進行測量，通過調節測量時使用的光柵光量通過條件，使之與掃描式電子顯微鏡標準片或標準掩膜版上的線寬相吻合，然后通過信息處理器修改測試程式中光柵光量通過條件，即光柵位置。這種方法?的不足之處在于：?

1）由于每種型號的TFT液晶顯示器均需要單獨制備特殊的SEM標準片或者標準掩膜版，因此，程序繁瑣且實現較困難；?

2）線寬測量機的光源使用壽命一般在2000小時左右，由于其衰減并非是等量衰減，故在2000小時內需多次校準，不但費時費力，測量結果可控性也較差；?

3）校準工作為全手動方法進行，無法避免人為的誤差。?

綜上所述，有待提出一種可控性較高的避免因線寬測量機中光源隨時間的衰減而導致測量結果準確性變差的問題。?

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種線寬測量機，可避免因線寬測量機中光源隨時間的衰減而導致測量結果準確性變差的問題，可控性高。?

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：?

本實用新型提供了一種線寬測量機，包括光柵、測試鏡頭；所述線寬測量機還包括：照度感應裝置、控制單元以及光柵驅動單元；其中，所述控制單元與所述照度感應裝置相連，?

所述照度感應裝置，用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元。?

其中，所述光柵驅動單元為電機，用于驅動所述光柵進行旋轉。?

其中，所述照度感應裝置與所述控制單元電連接。?

上述方案中，所述照度感應裝置設置于所述測試機臺上表面任一一角的位置。?

上述方案中，所述照度感應裝置的感應面與所述測試鏡頭所在平面平行。?

本實用新型提供的線寬測量機包括：照度感應裝置、控制單元以及光柵驅動單元；其中，所述控制單元與所述照度感應裝置相連，所述照度感應裝置，?用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號，并將所述電信號傳送給所述控制單元；所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元。在實際進行線寬測量時，控制模塊通過照度測試時記錄的照度值與光柵旋轉位置的對應關系找到測試程式中設定的照度值，并通過所述光柵驅動單元將所述光柵旋轉到與所述測試程式中設定的照度值對應的位置處，因此，可實現測試鏡頭端的照度值保持為測試程式中設定的照度值不變，進而保證線寬測量結果的穩定性，消除由于光源衰減造成的測量準確性變差的問題。?

此外，由于本實用新型只需在所述測試機臺上設置一個照度感應裝置，并設置所述控制單元和光柵驅動單元，由于光源光量的衰減可以通過照度感應裝置測試后不斷補正，保證測試鏡頭端的測試光量不變，因此光源的使用壽命得到延長，直至達到其使用的安全電壓范圍。?

另外，由于本實用新型的光柵旋轉位置的調整均通過所述控制單元和光柵驅動單元的結合自動調節，相對于現有的手動調節，大大降低了設備校準所用時間和工作量；本實用新型在照度測試后即可及時進行光柵位置的調節，不需人為參與，因此測量結果的可控性高。?

附圖說明