[實用新型]一種線寬測量機有效
| 申請號: | 201320229568.1 | 申請日: | 2013-04-27 |
| 公開(公告)號: | CN203454970U | 公開(公告)日: | 2014-02-26 |
| 發明(設計)人: | 龔長勇;孫林;汪雄;魯成祝;黃炳相 | 申請(專利權)人: | 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/02 | 分類號: | G01B11/02;G02F1/13 |
| 代理公司: | 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 王黎延;張振偉 |
| 地址: | 230011 安徽*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 測量 | ||
1.一種線寬測量機,包括光柵、測試鏡頭;其特征在于,所述線寬測量機還包括:照度感應裝置、控制單元以及光柵驅動單元;其中,所述控制單元與所述照度感應裝置相連,
所述照度感應裝置,用于接收光信號并將不同強度的光信號轉換為不同的電信號,并將所述電信號傳送給所述控制單元;所述控制單元用于根據所述電信號控制所述光柵驅動單元。
2.根據權利要求1所述的線寬測量機,其特征在于,所述光柵驅動單元為電機,用于驅動所述光柵進行旋轉。
3.根據權利要求1所述的線寬測量機,其特征在于,所述照度感應裝置與所述控制單元電連接。
4.根據權利要求1、2或3所述的線寬測量機,其特征在于,所述照度感應裝置設置于所述測試機臺上表面任一一角的位置。
5.根據權利要求1、2或3所述的線寬測量機,其特征在于,所述照度感應裝置的感應面與所述測試鏡頭所在平面平行。
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