[實用新型]一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀

有效

• 申請號: 201320228924.8
• 申請日: 2013-04-28
• 公開（公告）號: CN203217047U
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 曹伽牧;曹一江;李青;逄博;馮聚萌;蘭蘭;戴金良
• 申請（專利權）人: 哈爾濱理工大學
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 張宏威

1.一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，該測試儀包括控制電路單元、檢測應用單元和檢測顯示與操作單元；?

控制電路單元包括電源電路(1-1)、圖像顯示電路(1-2)、數據顯示電路(1-3)、鍵盤控制電路(1-4)、單片機最小系統(1-5)、熱探針溫度檢測電路(1-6)、繼電器功率控制電路(1-7)、熱電流檢測電路(1-8)和冷探針溫度檢測電路(1-9)；?

圖像顯示電路(1-2)的圖像信號輸入端連接單片機最小系統(1-5)的圖像信號輸出端；數據顯示電路(1-3)的顯示信號輸入端連接單片機最小系統(1-5)的顯示信號輸出端；鍵盤電路(1-4)的鍵盤信號輸出端連接單片機最小系統(1-5)的鍵盤信號輸入端；熱探針溫度檢測電路(1-6)的溫度信號輸出端連接單片機最小系統(1-5)的溫度信號輸入端；繼電器功率控制電路(1-7)的溫度控制信號的輸入端連接單片機最小系統(1-5)的溫度控制信號輸出端；熱電流檢測電路(1-8)的檢測信號輸出端連接單片機最小系統(1-5)的熱電流檢測信號輸入端；冷探針溫度檢測電路(1-9)的溫度檢測數據輸出端連接單片機最小系統(1-5)的冷探針溫度檢測數據輸入端；?

電源電路用于給圖像顯示電路(1-2)、數據顯示電路(1-3)、鍵盤控制電路(1-4)、單片機最小系統(1-5)、熱探針溫度檢測電路(1-6)、熱電流檢測電路(1-8)和冷探針溫度檢測電路(1-9)提供工作電源；?

檢測應用單元由冷探針(2-1)、熱探針(2-2)、探針支架(2-3)、絕緣測試臺(2-4)和底座(2-5)組成；?

冷探針(2-1)的末端和熱探針(2-2)的末端均嵌入探針支架(2-3)的頂部且與探針支架(2-3)的頂部活動連接，且冷探針(2-1)的主體和熱探針(2-2)的主體均位于探針支架(2-3)中；探針支架(2-3)固定在底座(2-5)上；絕緣測試臺(2-4)通過升降支架安裝在底座(2-5)的中心位置，所述絕緣測試臺(2-4)位于冷探針(2-1)和熱探針(2-2)的針尖的正下方，且絕緣測試臺(2-4)的臺面與冷探針(2-1)的針尖所在水平面的距離為d，d為正數。?

冷探針溫度檢測電路(1-9)用于檢測冷探針(2-1)的溫度，熱探針溫度檢測電路(1-6)用于檢測熱探針(2-2)的溫度；?

檢測顯示與操作單元包括數據顯示屏(3-1)、圖像顯示屏(3-2)、鍵盤(3-3)和測試儀箱體(3-4)；?

數據顯示屏(3-1)、圖像顯示屏(3-2)和鍵盤(3-3)均嵌固在測試儀箱體(3-4)的箱壁上；圖像顯示屏(3-2)的圖像信號輸入端連接圖像顯示電路(1-2)的圖像信號輸出端，數據顯示屏(3-1)的顯示屏信號輸入端連接數據顯示電路(1-3)的顯示屏信號輸出端，鍵盤(3-3)的鍵?盤信號輸出端連接鍵盤電路(1-4)的控制信號輸入端。?

2.根據權利要求1所述一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，檢測操作單元還包括工作指示燈(3-5)；工作指示燈(3-5)嵌固在測試儀箱體(3-4)的箱壁上；工作指示燈(3-5)的電源信號輸入端連接單片機最小系統(1-5)的電源指示信號輸出端。?

3.根據權利要求2所述一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，數據顯示屏(3-1)采用LCD240128顯示屏。?

4.根據權利要求1、2或3所述的一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，顯示屏(3-2)采用LCD160128顯示屏。?

5.根據權利要求4所述的一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，單片機最小系統(1-5)采用MSP430F149單片機最小系統。?

6.根據權利要求1、2、4或5所述的一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，熱探針溫度檢測電路(1-6)采用Pt1000溫度傳感器實現。?

7.根據權利要求6所述的一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，冷探針溫度檢測電路(1-9)采用DS18B20數字溫度傳感器實現。?

8.根據權利要求1、2、4、或6所述的一種基于單片機的晶圓導電類型測試儀，其特征在于，熱電流檢測電路(1-8)采用INA118芯片實現。?

9.根據權利要求8所述的一種基于單片機的晶圓導電性類型試儀，其特征在于，繼電器功率控制電路(1-7)采用單向固態繼電器實現。?