[實用新型]一種晶體生長的自動檢測裝置

有效

• 申請號: 201320211578.2
• 申請日: 2013-04-23
• 公開（公告）號: CN203284506U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 徐永亮;張國華;吳智洪
• 申請（專利權）人: 浙江昀豐新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

技術領域

本實用新型涉及晶體生長領域，特別涉及一種晶體生長的自動檢測裝置。

背景技術

近年來人工合成晶體實驗技術迅速發展，成功地合成了大量重要的晶體材料，如激光材料、半導體材料、磁性材料、人造寶石以及其它多種現代科技所要求的具有特種功能的晶體材料。當前人工合成晶體已成為工業發展主要支柱的材料科學中一個重要組成部分。

在晶體生長的過程中往往需要用籽晶來促進晶體的生長，由于籽晶在坩堝底部中心位置，化料階段，無法觀測籽晶的狀態，因此，在晶體生長的過程中，需要對坩堝底部的籽晶的狀態進行檢測，以確定是否可以開始晶體生長。

目前常用的檢測方法是鎢棒測量法，鎢棒測量法具體包括：將一根耐高溫鎢棒從爐蓋的中間頂部直接插入爐腔內，鎢棒的一端與一塊帶有磁性的材料固定在一起，在磁性材料的外圍布置有磁鐵，操作人員通過手動升降磁鐵來帶動鎢棒的升降，當鎢棒的另一端觸及晶體（籽晶）固液界面時，阻力瞬間增大，鎢棒停止向下運動。

但是，在應用鎢棒檢測法進行籽晶熔化狀態的判斷時，操作員工需要根據經驗判斷熔化狀態，并在確定可以開始晶體生長時，手動快速提拉鎢棒，但是，由于操作員工的經驗和反應能力等方面的限制，很可能不能及時提拉鎢棒，從而造成鎢棒彎曲斷裂，或者鎢棒被粘在晶體上結晶，最終造成晶體分裂，長晶失敗。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種晶體生長的自動檢測裝置，以保證在判斷熔化狀態的同時，及時提拉鎢棒，從而保證晶體生長的質量，提高晶體生長的成功率。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了如下技術方案：

一種晶體生長的自動檢測裝置，包括：升降支架；設置于所述升降支架一側的石英管；連接所述升降支架和所述石英管的升降板，所述升降板可沿所述升降支架和所述石英管上下移動；設置于所述升降支架上，以控制所述升降板上下移動的升降模組；設置于所述石英管內部，且可沿所述石英管上下移動的鎢棒；設置于所述鎢棒的上端，具有磁性的升降環；設置于所述升降板上，以通過所述升降環帶動所述鎢棒上下移動的磁鐵；設置于所述升降板上，以檢測所述升降環移動的區域傳感器。

優選的，所述升降模組包括伺服電機和與所述伺服電機電連接的聯軸器，所述聯軸器連接所述升降板。

優選的，所述晶體生長的自動檢測裝置還包括：設置于所述石英管下方并包圍所述石英管的密封件。

優選的，所述密封件包括帶有水冷的腔體和密封圈，所述密封圈的直徑等于所述石英管的直徑。

優選的，所述晶體生長的自動檢測裝置還包括：設置于所述鎢棒上端，固定所述鎢棒的升降固定塊。

優選的，所述區域傳感器的感應區域的最下端與所述升降固定塊的上端面齊平。

優選的，所述晶體生長的自動檢測裝置還包括：連接所述石英管和所述升降支架的連接板。

優選的，所述晶體生長的自動檢測裝置還包括：位于所述型連接板上方的石英固定座。

優選的，所述晶體生長的自動檢測裝置還包括：位于所述區域傳感器和升降板之間的墊片。

與現有技術相比，上述技術方案具有以下優點：

本實用新型所提供的晶體生長的自動檢測裝置包括區域傳感器，所述區域傳感器設置于升降板上，與升降板的移動同步。在檢測的開始階段，鎢棒和區域傳感器會隨著升降板同步向下移動，但當所述鎢棒停止運動后，所述升降板會載著所述區域傳感器繼續向下移動，此時區域傳感器會立即感應到其自身與鎢棒的相對運動，然后以電信號的形式發送給檢測裝置上的升降模組，升降模組就會控制升降板反方向移動，升降板上的磁鐵通過鎢棒頂端的具有磁性的升降環提拉鎢棒，使鎢棒離開固液交界面。

此過程不再需要操作員工根據經驗判斷熔化狀態并進行手工操作，因此，大大減小了鎢棒在固液交界面的停留時間，避免了由于不能及時提拉鎢棒，導致鎢棒彎曲斷裂，或者鎢棒被粘在晶體上結晶，造成晶體分裂，長晶失敗的現象發生，從而保證了晶體生長的質量，提高晶體生長的成功率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型所提供的晶體生長的自動檢測裝置的主視圖結構示意圖；

圖2為本實用新型所提供的晶體生長的自動檢測裝置在安裝在晶體生長裝置后的主視圖結構示意圖；

圖3為本實用新型所提供的晶體生長的自動檢測裝置的升降模組的主視圖結構示意圖；