[實用新型]一種晶體生長的自動檢測裝置有效
| 申請號： | 201320211578.2 | 申請日： | 2013-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN203284506U | 公開（公告）日： | 2013-11-13 |
| 發明（設計）人： | 徐永亮;張國華;吳智洪 | 申請（專利權）人： | 浙江昀豐新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 321037 浙江省金*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 晶體生長 自動檢測 裝置 | ||
1.一種晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，包括：
升降支架；
設置于所述升降支架一側的石英管；
連接所述升降支架和所述石英管的升降板，所述升降板可沿所述升降支架和所述石英管上下移動；
設置于所述升降支架上，以控制所述升降板上下移動的升降模組；
設置于所述石英管內部，且可沿所述石英管上下移動的鎢棒；
設置于所述鎢棒的上端，具有磁性的升降環；
設置于所述升降板上，以通過所述升降環帶動所述鎢棒上下移動的磁鐵；
設置于所述升降板上，以檢測所述升降環移動的區域傳感器。
2.根據權利要求1所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，所述升降模組包括伺服電機和與所述伺服電機電連接的聯軸器，所述聯軸器連接所述升降板。
3.根據權利要求1所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，還包括：設置于所述石英管下方并包圍所述石英管的密封件。
4.根據權利要求3所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，所述密封件包括帶有水冷的腔體和密封圈，所述密封圈的直徑等于所述石英管的直徑。
5.根據權利要求1所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，還包括：設置于所述鎢棒上端，固定所述鎢棒的升降固定塊。
6.根據權利要求5所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，所述區域傳感器的感應區域的最下端與所述升降固定塊的上端面齊平。
7.根據權利要求1所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，還包括：連接所述石英管和所述升降支架的連接板。
8.根據權利要求1所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，還包括：位于所述型連接板上方的石英固定座。
9.根據權利要求1所述的晶體生長的自動檢測裝置，其特征在于，還包括：位于所述區域傳感器和升降板之間的墊片。
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