[實用新型]用于蝕刻設備的上部電極

有效

• 申請號: 201320198480.8
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN203205375U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 陳煜;賀賢漢;吳小杰
• 申請（專利權）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司 31203
• 代理人: 沈履君

技術領域

本實用新型涉及半導體，LED，TFT-LCD和太陽能光伏生產設備部件新的應用，特別是一種陶瓷氣孔在干蝕刻上部電極的應用。

背景技術

當前半導體，LED，TFT-LCD和太陽能光伏生產行業比較集中，生產設備也有很多的相通之處，在干蝕刻制程的設備一般會使用到上部電極，作為該設備的關鍵部件，絕大部分為鋁基板加工很多通氣氣孔，整體進行陽極氧化來達到絕緣陰極耐蝕效果。受制于陽極氧化本身工藝限制，氣孔內部表面的氧化膜厚度一般只有平面厚度的一半左右，比較容易先出現問題。雖各個代次的尺寸不一，或蝕刻要求不同，也只是氣孔的位置和數量有差異，其存在的缺點都相同----氣孔會隨著不斷的使用和返修逐漸腐蝕、擴大。一方面，制程需求氣孔孔徑必須在一定范圍并且保持整體均勻，以確保通過的工作氣體比較均勻，氣孔內部不斷腐蝕惡化，導致該需求逐漸不能滿足；另一方面，隨著孔內部狀況的惡化，設備維修廠商在返修時再生的陽極膜質量難以達到很高品質，存在機臺運行過程中的局部刻穿而引發的arching（放電）、氣孔堵塞等隱患。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種提高運行周期，節省維護成本，并提升生產效率的用于蝕刻設備的上部電極。

為解決上述技術問題，本實用新型用于蝕刻設備的上部電極，包括：鋁基板，在所述鋁基板上設有安裝孔，所述安裝孔的數量至少為一個；以及陶瓷氣孔，所述陶瓷氣孔設置在所述安裝孔內。

在所述安裝孔內設有安裝架。所述陶瓷氣孔包括氣孔本體以及設置在所述氣孔本體兩端的定位架；其中所述定位架與所述安裝架固定。

在所述陶瓷氣孔表面涂有耐腐蝕材料。所述耐腐蝕材料為特氟龍。

本實用新型用于蝕刻設備的上部電極取消了整塊鋁基板打孔的做法，在原先的工作氣孔位置嵌入陶瓷氣孔。由于陶瓷本身具有非常優異的絕緣性能和耐酸堿腐蝕等特點，加上陶瓷表面易加工成比較光滑平整的特性，使用本新型陶瓷孔電極可避免氣孔內部因長期通過腐蝕性工作氣體被腐蝕的缺點，滿足工作氣體均勻通過；之前的電極因氣孔內壁陽極膜失效會經常更換、返修，采用本新型電極可極大提高運行周期，節省維護成本，并提升生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型用于蝕刻設備的上部電極剖視圖。

本實用新型用于蝕刻設備的上部電極附圖中附圖標記說明：

1-鋁基板?????????????2-安裝孔?????????????3-安裝架

4-氣孔本體???????????5-定位架

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型用于蝕刻設備的上部電極作進一步詳細說明。

如圖1所示，本實用新型用于蝕刻設備的上部電極，包括：鋁基板1，在鋁基板1上設有多個安裝孔2，在安裝孔2內設有安裝架3；陶瓷氣孔包括氣孔本體4以及設置在氣孔本體4兩端的定位架5，陶瓷氣孔設置在安裝孔2內，通過定位架5與安裝架3固定。并且在陶瓷氣孔表面涂有特氟龍。

本實用新型用于蝕刻設備的上部電極陶瓷內孔的孔徑均勻性，受設備工藝制程需求，氣孔孔徑必須符合一定范圍，并整體均勻一致；陶瓷氣孔嵌入位置準確、狀況良好，正確的位置確保通過的工作氣體符合工藝設定，狀況良好確保工作過程中不發生損壞、掉落等意外事故；鋁基板尤其是鑲嵌陶瓷柱的結合部位處理得當，包括所有的表面、界面陽極完好，也包括陶瓷柱與基板的密封性能等。

本實用新型用于蝕刻設備的上部電極取消了整塊鋁基板打孔的做法，在原先的工作氣孔位置嵌入陶瓷氣孔。由于陶瓷本身具有非常優異的絕緣性能和耐酸堿腐蝕等特點，加上陶瓷表面易加工成比較光滑平整的特性，使用本新型陶瓷孔電極可避免氣孔內部因長期通過腐蝕性工作氣體被腐蝕的缺點，滿足工作氣體均勻通過；之前的電極因氣孔內壁陽極膜失效會經常更換、返修，采用本新型電極可極大提高運行周期，節省維護成本，并提升生產效率。

以上已對本實用新型創造的較佳實施例進行了具體說明，但本實用新型創造并不限于實施例，熟悉本領域的技術人員在不違背本實用新型創造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請權利要求所限定的范圍內。