[實用新型]用于蝕刻設(shè)備的上部電極

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320198480.8
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN203205375U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳煜;賀賢漢;吳小杰
• 申請（專利權(quán)）人: 上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 31203
• 代理人: 沈履君

1.用于蝕刻設(shè)備的上部電極，其特征在于，包括：

鋁基板，在所述鋁基板上設(shè)有安裝孔，所述安裝孔的數(shù)量至少為一個；以及

陶瓷氣孔，所述陶瓷氣孔設(shè)置在所述安裝孔內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于蝕刻設(shè)備的上部電極，其特征在于，在所述安裝孔內(nèi)設(shè)有安裝架。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于蝕刻設(shè)備的上部電極，其特征在于，所述陶瓷氣孔包括氣孔本體以及設(shè)置在所述氣孔本體兩端的定位架；其中所述定位架與所述安裝架固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的用于蝕刻設(shè)備的上部電極，其特征在于，在所述陶瓷氣孔表面涂有耐腐蝕材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于蝕刻設(shè)備的上部電極，其特征在于，所述耐腐蝕材料為特氟龍。