[實用新型]高速晶粒檢測設備的擺動式探針座

有效

• 申請號: 201320193351.X
• 申請日: 2013-04-17
• 公開（公告）號: CN203259551U
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 黃德崑
• 申請（專利權）人: 臺北歆科科技有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 北京乾誠五洲知識產權代理有限責任公司 11042
• 代理人: 付曉青;楊玉榮

技術領域

本實用新型涉及一種高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，具體地說，涉及一種適用于晶粒檢測設備的探針座。

背景技術

隨著晶粒測試設備不斷地朝向高速化的發展，目前每小時1萬4千顆晶粒的測試規格已經無法滿足市場的測試需求，必須朝向每小時2萬顆的測試規模發展。然而，在這樣高速的測試環境下，在進行晶粒測試過程中的每一個環節，包括運載輸送、接觸測試和訊號傳輸等各方面，都必須在高速化方面取得巨大的進步。而與高速測試相配合的探針座在整個測試設備高速化的過程中，更是扮演著相當重要的角色。

熟知的晶粒測試探針座可參閱公告編號為439570號的中國臺灣專利“晶粒分選機的回轉分選裝置”，其中該專利前案中所采用的測試座為固定式。具體地說，使用晶粒取放裝置將待測晶粒移載至探針座的上方，并且將晶粒下壓使其接觸探針座上的探針以便進行測試；待測試完畢后，將晶粒取放裝置移除真空吸取力并上升，此時再搭配一吹氣裝置將晶粒吹出探針座外后，晶粒取放裝置才會去取下一個待測晶粒。

然而，這種固定式的探針座和晶粒取放裝置的測試方式和取放方式必須耗費晶粒取放裝置的等待時間，而且晶粒在測試完后被吹氣裝置吹送的過程中也容易四處亂飛，也容易撞擊晶粒取放裝置的吸頭等裝置，導致晶粒毀損從而降低產品合格率和測試的準確率。

由此可知，設計一種構造簡單、安全可靠、成本低廉、無需晶粒移載輸送的等待時間，從而可以大幅降低測試時間，并且可以提高測試準確度，從而完全避免晶粒在吹離的過程中撞擊吸取頭或其他機構的高速晶粒檢測設備的探針座，實在是產業上的一種迫切需要。

實用新型內容

為了解決現有技術的不足，本實用新型的主要目的在于提供一種高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，以能夠大幅度減少測試時間，從而有效提高產量，并且又可以避免晶粒在吹離的過程中撞擊吸取頭或其他機構，更重要的是，本實用新型的構造簡單、安全可靠。

為了實現上述目的，本實用新型提供了一種高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，所述擺動式探針座包括：一固定基座、一擺動臺、至少一探針和至少一固定導電片。其中，所述擺動臺包括一前端面、一后端面和一下表面，所述下表面介于所述前端面和所述后端面之間，所述下表面的中段樞接在所述固定基座上；所述探針貫穿經過所述擺動臺的所述前端面和所述后端面，并在所述前端面露出一頭端，在所述后端面露出一尾端；所述固定導電片固定在所述固定基座上；其中，當所述擺動臺進行樞轉時，所述前端面向上抬起，使得所述至少一探針的所述頭端電性接觸一待測晶片，同時所述擺動臺的所述后端面相對應地下降，使得所述至少一探針的所述尾端電性接觸所述至少一固定導電片。

由此，本實用新型通過將擺動臺樞接在固定基座上，可以使得擺動臺如同翹翹板一般，在晶片測試時擺動臺的前端面抬升，維持水平高度，使得探針的頭端頂住一待測晶片，從而進行測試；此時，擺動臺的后端面下降，同樣維持水平高度，使得探針的尾端電性接觸固定導電片，從而使得電訊號得以進行傳導。另一方面，當測試完畢時，晶粒取放裝置的吸取頭上升，并隨即去吸取下一顆待測晶粒，而擺動臺的前端面下降，順勢將晶粒向下帶，并搭配吹氣裝置將其吹離；此時，擺動臺的后端面相對應地向上抬升，從而探針的尾端離開固定導電片構成斷路。因此，本實用新型無需晶粒移載輸送的等待時間，從而可以大幅降低測試時間，并且可以提高測試準確度，完全避免晶粒在吹離的過程中撞擊吸取頭或其他機構。更重要的是，本實用新型的線路連接采用固定接點式，接線不會隨著擺動臺上升下降，因此可以大幅提高使用壽命和測試精準度，安全可靠。

優選地，本實用新型的所述固定基座的前端面凹設一凹槽，所述擺動臺的所述下表面的中段包括一樞接凸部，所述樞接凸部容納設置在所述凹槽內并通過一樞軸彼此樞接。由此，本實用新型的所述擺動臺形成一如同翹翹板一樣的機構，同時因為凹槽和樞接凸部的設計，使得機構不會有干涉的問題產生。

優選地，本實用新型的所述至少一固定導電片包括一接墊；所述至少一探針的所述尾端電性接觸所述至少一固定導電片的所述接墊。由此，本實用新型可以提高電性接觸的可靠度，并且探針的尾端不會直接撞擊固定導電片，可以大幅提高使用壽命。

優選地，本實用新型的所述至少一固定導電片包括一接線端和一段差部，所述接線端和所述接墊遙遙相對，所述段差部介于所述接線端和所述接墊之間，所述至少一固定導電片通過所述段差部使得所述接線端高于所述接墊。由此，本實用新型的固定導電片可以通過段差部形成階梯狀，從而使得連接電源訊號線的接線端高于接墊，其不僅能夠提高接線的便利性，更可以提高可靠度和使用壽命。