[實用新型]高速晶粒檢測設備的擺動式探針座

有效

• 申請號: 201320193351.X
• 申請日: 2013-04-17
• 公開（公告）號: CN203259551U
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 黃德崑
• 申請（專利權）人: 臺北歆科科技有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067
• 代理公司: 北京乾誠五洲知識產權代理有限責任公司 11042
• 代理人: 付曉青;楊玉榮

1.一種高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，其特征在于，所述擺動式探針座包括：

一固定基座；

一擺動臺，所述擺動臺包括一前端面、一后端面和一下表面，所述下表面介于所述前端面和所述后端面之間，所述下表面的中段樞接在所述固定基座上；

至少一探針，所述探針貫穿經過所述擺動臺的所述前端面和所述后端面，并在所述前端面露出一頭端，在所述后端面露出一尾端；以及

至少一固定導電片，所述固定導電片固定在所述固定基座上；

其中，當所述擺動臺進行樞轉時，所述前端面向上抬起，使所述至少一探針的所述頭端電性接觸一待測晶片，同時所述擺動臺的所述后端面則相對應地下降，使得所述至少一探針的所述尾端電性接觸所述至少一固定導電片。

2.根據權利要求1所述的高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，其特征在于，所述固定基座的前端面凹設一凹槽，所述擺動臺的所述下表面的中段包括一樞接凸部，所述樞接凸部通過一樞軸容設在所述凹槽內進行樞轉。

3.根據權利要求1所述的高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，其特征在于，所述至少一固定導電片包括一接墊；所述至少一探針的所述尾端電性接觸所述至少一固定導電片的所述接墊。

4.根據權利要求3所述的高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，其特征在于，所述至少一固定導電片包括一接線端和一段差部，所述接線端和所述接墊遙遙相對，所述段差部介于所述接線端與所述接墊之間，所述至少一固定導電片通過所述段差部使所述接線端高于所述接墊。

5.根據權利要求1所述的高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，其特征在于，所述擺動式探針座還包括一三軸向載臺，所述固定基座組裝設置在所述三軸向載臺上。

6.根據權利要求1所述的高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，其特征在于，所述擺動式探針座還包括一彈簧，所述彈簧設置在所述固定基座上，并且與所述擺動臺的所述下表面相對應。

7.根據權利要求6所述的高速晶粒檢測設備的擺動式探針座，其特征在于，所述擺動臺的所述后端面包括一平整段和一凸起段，所述至少一探針的所述尾端穿出所述平整段，所述彈簧與所述凸起段的下表面相對應。