[實用新型]氮氧化硅爐氣體互鎖控制系統有效
| 申請號: | 201320177667.X | 申請日: | 2013-04-10 |
| 公開(公告)號: | CN203191770U | 公開(公告)日: | 2013-09-11 |
| 發明(設計)人: | 王友旺;馬春磊 | 申請(專利權)人: | 深圳深愛半導體股份有限公司 |
| 主分類號: | G05B19/05 | 分類號: | G05B19/05 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 吳平 |
| 地址: | 518118 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氧化 氣體 互鎖 控制系統 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種控制領域,特別是涉及一種氮氧化硅爐氣體互鎖控制系統。
背景技術
傳統的氮氧化硅爐氣體互鎖是利用幾個繼電器通過一定的電路連線來達到簡單的幾種特殊氣體、真空的互鎖控制。
這種控制方式只能夠實現簡單的互鎖功能,且由于要使用多個繼電器和其它元器件,電路硬件連線比較復雜。一旦電路連接完成,其功能就已經基本定型,要想改變或者增加一些功能,則需要在原來電路的基礎上增加元器件或者對電路進行較大的改動。如果需要改動的功能比較多,那么整個電路有可能需要重新設計。
實用新型內容
基于此,有必要針對傳統的氮氧化硅爐氣體互鎖電路的電路連線較復雜的問題,提供一種氮氧化硅爐氣體互鎖系統。
一種氮氧化硅爐氣體互鎖控制系統,其特征在于,包括可編程邏輯控制器、高閥電磁閥(V6)、慢抽閥電磁閥(V5)、大氮電磁閥(V4)、SiCL2H2先導電磁閥(V3)、NH3電磁閥(V2)及SiCL2H2電磁閥(V1),所述可編程邏輯控制器的高閥電磁閥驅動信號輸出端(Y02)電連接所述高閥電磁閥(V6)的控制端,所述可編程邏輯控制器的慢抽閥電磁閥驅動信號輸出端(Y03)電連接所述慢抽閥電磁閥(V5)的控制端,所述可編程邏輯控制器的大氮電磁閥驅動信號輸出端(Y04)電連接所述大氮電磁閥(V4)的控制端,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2先導電磁閥驅動信號輸出端(Y05)電連接所述SiCL2H2先導電磁閥(V3)的控制端,所述可編程邏輯控制器的NH3電磁閥驅動信號輸出端(Y06)電連接所述NH3電磁閥(V2)的控制端,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2電磁閥驅動信號輸出端(Y07)電連接所述SiCL2H2電磁閥(V1)的控制端,所述高閥電磁閥(V6)、慢抽閥電磁閥(V5)、大氮電磁閥(V4)、SiCL2H2先導電磁閥(V3)、NH3電磁閥(V2)及SiCL2H2電磁閥(V1)的電源端電連接所述可編程邏輯控制器的電壓輸出端;所述可編程邏輯控制器的高閥電磁閥控制信號輸入端(X02)用于接收高閥電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的慢抽閥電磁閥控制信號輸入端(X03)用于接收慢抽閥電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的大氮電磁閥控制信號輸入端(X04)用于接收大氮電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2先導電磁閥控制信號輸入端(X05)用于接收SiCL2H2先導電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的NH3電磁閥控制信號輸入端(X06)用于接收NH3電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2電磁閥控制信號輸入端(X07)用于接收SiCL2H2電磁閥控制信號。
在其中一個實施例中,所述可編程邏輯控制器的程序錯誤報警輸出端(Y01)用于在高閥電磁閥(V6)和大氮電磁閥(V4)同時打開時、高閥電磁閥(V6)和慢抽閥電磁閥(V5)同時打開時、NH3電磁閥(V2)沒有打開而SiCL2H2先導電磁閥(V3)卻打開時、NH3電磁閥(V2)沒有打開而SiCL2H2電磁閥(V1)卻打開時輸出程序錯誤報警信號,同時所述可編程邏輯控制器自動復位。
在其中一個實施例中,所述可編程邏輯控制器的爐門互鎖開關信號輸入端(X01)用于接收爐門關閉信號;所述大氮電磁閥(V4)在所述大氮電磁閥控制信號有效時打開;所述高閥電磁閥(V6)在所述爐門關閉信號有效、所述高閥電磁閥控制信號有效、所述大氮電磁閥控制信號有效、且所述慢抽閥電磁閥(V5)關閉時打開;所述慢抽閥電磁閥(V5)在所述爐門關閉信號有效、所述慢抽閥電磁閥控制信號有效、且所述大氮電磁閥控制信號有效時打開。
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