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[實用新型]氮氧化硅爐氣體互鎖控制系統有效

專利信息
申請號: 201320177667.X 申請日: 2013-04-10
公開(公告)號: CN203191770U 公開(公告)日: 2013-09-11
發明(設計)人: 王友旺;馬春磊 申請(專利權)人: 深圳深愛半導體股份有限公司
主分類號: G05B19/05 分類號: G05B19/05
代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 代理人: 吳平
地址: 518118 廣東省*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氧化 氣體 互鎖 控制系統
【權利要求書】:

1.一種氮氧化硅爐氣體互鎖控制系統,其特征在于,包括可編程邏輯控制器、高閥電磁閥(V6)、慢抽閥電磁閥(V5)、大氮電磁閥(V4)、SiCL2H2先導電磁閥(V3)、NH3電磁閥(V2)及SiCL2H2電磁閥(V1),

所述可編程邏輯控制器的高閥電磁閥驅動信號輸出端(Y02)電連接所述高閥電磁閥(V6)的控制端,所述可編程邏輯控制器的慢抽閥電磁閥驅動信號輸出端(Y03)電連接所述慢抽閥電磁閥(V5)的控制端,所述可編程邏輯控制器的大氮電磁閥驅動信號輸出端(Y04)電連接所述大氮電磁閥(V4)的控制端,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2先導電磁閥驅動信號輸出端(Y05)電連接所述SiCL2H2先導電磁閥(V3)的控制端,所述可編程邏輯控制器的NH3電磁閥驅動信號輸出端(Y06)電連接所述NH3電磁閥(V2)的控制端,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2電磁閥驅動信號輸出端(Y07)電連接所述SiCL2H2電磁閥(V1)的控制端,所述高閥電磁閥(V6)、慢抽閥電磁閥(V5)、大氮電磁閥(V4)、SiCL2H2先導電磁閥(V3)、NH3電磁閥(V2)及SiCL2H2電磁閥(V1)的電源端電連接所述可編程邏輯控制器的電壓輸出端;

所述可編程邏輯控制器的高閥電磁閥控制信號輸入端(X02)用于接收高閥電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的慢抽閥電磁閥控制信號輸入端(X03)用于接收慢抽閥電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的大氮電磁閥控制信號輸入端(X04)用于接收大氮電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2先導電磁閥控制信號輸入端(X05)用于接收SiCL2H2先導電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的NH3電磁閥控制信號輸入端(X06)用于接收NH3電磁閥控制信號,所述可編程邏輯控制器的SiCL2H2電磁閥控制信號輸入端(X07)用于接收SiCL2H2電磁閥控制信號。

2.根據權利要求1所述的氮氧化硅爐氣體互鎖控制系統,其特征在于,所述可編程邏輯控制器的程序錯誤報警輸出端(Y01)用于在高閥電磁閥(V6)和大氮電磁閥(V4)同時打開時、高閥電磁閥(V6)和慢抽閥電磁閥(V5)同時打開時、NH3電磁閥(V2)沒有打開而SiCL2H2先導電磁閥(V3)卻打開時、NH3電磁閥(V2)沒有打開而SiCL2H2電磁閥(V1)卻打開時輸出程序錯誤報警信號,同時所述可編程邏輯控制器自動復位。

3.根據權利要求2所述的氮氧化硅爐氣體互鎖控制系統,其特征在于,所述可編程邏輯控制器的爐門互鎖開關信號輸入端(X01)用于接收爐門關閉信號;

所述大氮電磁閥(V4)在所述大氮電磁閥控制信號有效時打開;

所述高閥電磁閥(V6)在所述爐門關閉信號有效、所述高閥電磁閥控制信號有效、所述大氮電磁閥控制信號有效、且所述慢抽閥電磁閥(V5)關閉時打開;

所述慢抽閥電磁閥(V5)在所述爐門關閉信號有效、所述慢抽閥電磁閥控制信號有效、且所述大氮電磁閥控制信號有效時打開。

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