[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201320175518.X
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN203193893U
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 王顯彬;王喆;宋青林;龐勝利;劉詩婧
• 申請（專利權）人: 歌爾聲學股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 濰坊正信專利事務所 37216
• 代理人: 王秀芝

技術領域

本實用新型屬于電聲產品技術領域，尤其涉及一種MEMS麥克風。?

背景技術

隨著電子技術的快速發展，MEMS（微電子機械系統）麥克風以其體積小、便于SMT（表面貼裝技術）安裝、耐高溫、穩定性好、自動化程度高和適合大批量生產等優點得到了越來越廣泛的應用。現有技術中的MEMS麥克風通常包括外殼以及與外殼結合為一體的線路板，線路板上設有聲孔，在線路板的內側對應聲孔的位置設有MEMS芯片。MEMS芯片的結構如圖10所示，包括基底31b，基底31b上設有膜片32，膜片32上設有支撐環34，支撐環34上設有背極板33，背極板33上設有極板孔331，背極板33與膜片32之間留有振動空間，形成背極板在上，膜片在下的MEMS芯片結構。?

這種結構的MEMS麥克風的不足之處在于：由于MEMS芯片的結構是膜片在下，背極板在上，膜片與聲孔之間沒有遮擋，當聲孔進入的氣流較強時容易損傷膜片，從而損壞MEMS芯片，導致MEMS麥克風無法正常工作，縮短了MEMS麥克風的使用壽命。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種MEMS麥克風，旨在解決現有MEMS麥克風的進入氣流直接沖擊MEMS芯片，容易損傷膜片，損壞MEMS芯片的問題。?

本實用新型是這樣實現的，一種MEMS麥克風，所述MEMS麥克風包括外殼；與所述外殼結合為一體的線路板，所述線路板上設有第一聲孔；定義所述線路板與所述外殼相結合的一側為所述線路板的內側，所述線路板的內側對應所述第一聲孔的位置設有MEMS芯片，所述MEMS芯片包括兩個以上的聲電轉換單元，所述MEMS芯片與所述線路板之間設有支撐件，所述支撐件上設有至少兩個與所述聲電轉換單元對應的第二聲孔，所述第二聲孔的孔徑尺寸小于所述第一聲孔的孔徑尺寸，所述支撐件與所述線路板之間設有氣流緩沖腔。?

作為一種改進，所述MEMS芯片包括基底，在所述基底上設有膜片，所述膜片上設有支撐環，所述支撐環上設有背極板，所述背極板上設有極板孔，所述?MEMS芯片通過所述基底實現與所述支撐件的安裝。?

作為一種改進，由兩個以上的所述聲電轉換單元構成的所述MEMS芯片設置為分體結構或一體結構。?

作為一種改進，所述支撐件為平板結構，所述支撐件與所述線路板之間設有支撐墊環，所述支撐件、所述支撐墊環和所述線路板共同圍成所述氣流緩沖腔。?

作為一種改進，所述支撐件為平板結構，所述線路板內側對應所述第一聲孔和第二聲孔的位置設有凹槽，所述凹槽在所述支撐件與所述線路板之間形成了所述氣流緩沖腔。?

作為一種改進，所述支撐件為一端開口的蓋狀結構，所述蓋狀結構的開口端與所述線路板相結合，所述支撐件和所述線路板共同圍成所述氣流緩沖腔。?

作為一種改進，各所述第二聲孔與所述第一聲孔錯開設置。?

作為一種改進，所述線路板上的第一聲孔的孔徑尺寸在0.2～0.3mm之間,所述第二聲孔的孔徑尺寸在0.01～0.1mm之間。?

作為一種改進，所述第二聲孔的孔徑尺寸在0.03～0.05mm之間。?

作為一種改進，所述支撐件與所述線路板相結合位置的線路板上設有用于存膠的溢膠槽。?

由于采用了上述技術方案,由于MEMS麥克風的線路板與MEMS芯片之間設有支撐件，支撐件上設有至少兩個第二聲孔，支撐件與線路板之間設有氣流緩沖腔；MEMS芯片包括至少兩個聲電轉換單元，每個聲電轉換單元分別對應一個第二聲孔，該第二聲孔的孔徑尺寸小于第一聲孔的孔徑尺寸;所取得的有益效果是：氣流通過第一聲孔進入MEMS麥克風，首先經過氣流緩沖腔的緩沖，然后通過第二聲孔作用在聲電轉換單元上,也就是MEMS芯片的膜片上，氣流緩沖腔的設置，避免了第一聲孔進入的較強氣流直接沖擊MEMS芯片的膜片，對MEMS芯片起到了保護作用，有效的降低了MEMS芯片被損壞的機率，延長了MEMS麥克風的使用壽命。?

附圖說明

圖1是本實用新型第一實施例提供的MEMS麥克風的剖面結構示意圖；?

圖2是本實用新型第一實施例提供的MEMS麥克風的支撐件的結構示意圖；?

圖3是本實用新型第二實施例提供的MEMS麥克風的剖面結構示意圖；?

圖4是本實用新型第三實施例提供的MEMS麥克風的剖面結構示意圖；?

圖5是本實用新型第四實施例提供的MEMS麥克風的剖面結構示意圖；?

圖6是本實用新型第五實施例提供的MEMS麥克風的剖面結構示意圖；?

圖7是本實用新型第六實施例提供的MEMS麥克風的剖面結構示意圖；?