[實用新型]一種自適應基板尺寸的真空吸附平臺

有效

• 申請號: 201320158216.1
• 申請日: 2013-04-01
• 公開（公告）號: CN203156623U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發明（設計）人: 王會中;李宗澤
• 申請（專利權）人: 四川長虹電器股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;C03B33/00
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 王荔

技術領域

本實用新型涉及一種真空吸附裝置，尤其涉及一種自適應基板尺寸的真空吸附平臺。

背景技術

在平板顯示器如PDP、LCD、OLED的玻璃基板制程中，一般在后工序制程中需要對前工序大尺寸的基板進行切割、分斷，以制成較小尺寸的平板顯示器，在玻璃基板的切割、分斷工藝中通常使用真空吸附工作臺對待加工的基板予以吸附、固持。類似地，在其它平板型工件如PCB的加工過程中也廣泛地使用真空吸附工作臺。在實際生產中，玻璃基板等平板型工件的規格和尺寸常有變化，也就是要求某種規格尺寸的真空吸附工作臺能夠兼容適用于該規格最大尺寸及以下尺寸的平板型工件。

傳統的真空吸附工作臺技術解決方案是：為避免未被平板型工件覆蓋的吸氣孔與大氣接通，采用塑料薄膜等材料覆蓋沒有平板型工件的工作臺吸附孔區域，或采用螺絲等堵塞元件將未被平板型工件覆蓋的吸氣孔封住，以免漏氣。顯然這種方法使用不便，效率低下。

由于傳統解決方案的缺陷，一些研究人員提出了自動調整吸附范圍的真空吸附裝置。如專利號01261453.X提出將吸附工作臺分隔成不同區域,利用壓力傳感器感測不同區域真空度,以判斷不同區域是否被平板型工件覆蓋,從而控制相應區域的真空閥門的開啟與關閉。顯然此種方案技術復雜，成本高。

申請號200910135112.7的專利申請提出利用擺桿原理，在吸附工作臺上每個吸附孔內內置一個Z字型擺桿，無平板型工件覆蓋區域的Z字型杠桿一端伸出臺面、另一端在重力作用下隔阻吸附孔下側孔口，有平板型工件覆蓋時Z字型擺桿伸出臺面一端受工件作用而向下擺動，另一端則抬起，從而打開吸氣孔下側孔口，即吸氣孔與內部真空接通。此種方案的異型吸氣孔加工難度高，且易對基板表面造成劃傷。

另一中國專利02239287.4提出用大型薄板制成懸伸薄片，利用懸伸薄片的彎曲擺動阻擋吸氣孔以將工作臺未被平板型工件覆蓋部分的吸附孔與內部真空隔離。此種方案要求薄板材料尺寸規格與吸附工作臺相同，市場上的薄板材料往往不能滿足要求，而且此種方案結構比較復雜，獲取成本較高。

申請號201110290659.1和201210111025.X的專利申請分別提出使用多孔質板或膜作為透氣層，利用多孔質材料中的微孔產生的壓降來阻隔未被平板型工件覆蓋部分的大氣與工作臺內部真空接通，此兩種解決方案存在的不足之處一是需要特殊的多孔質材料，二是存在額外的能源損失。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種結構簡單、成本低廉的自適應基板尺寸的真空吸附平臺，尤其適用于平板顯示器行業玻璃基板的切割、分斷工藝。

為了實現以上目的，本實用新型的自適應基板尺寸的真空吸附平臺，包括真空閥板，和置于真空閥板上的陣列分布有貫穿的吸附小孔的真空吸附載板，以及置于真空閥板下的基座，所述真空閥板上陣列分布設置長方形沉槽，所述長方形沉槽底部為圓弧形面，所述圓弧形面底部中心設置一通孔，所述長方形沉槽中活動地設置一長方形彈性膜片。

所述長方形彈性膜片的長邊兩側有連通長方形沉槽和沉槽底部通孔的槽口。

在所述長方形沉槽底部長度方向兩端為平面，中部為圓弧形面。

在所述長方形沉槽底部圓弧形面中心通孔的周邊局部敷設圓弧形膠片，圓弧形膠片具有與圓弧形面一致的曲率半徑。

進一步的，所述吸附小孔為逐漸過渡的臺階孔。

本實用新型與現有技術相比，其顯著優點：（1）具有結構簡單、使用方便、成本較低；(2)能夠吸附住有效吸附面積不能完全覆蓋住真空吸附工作臺上吸氣孔的平板型工件，可自動適應平板型工件的規格和尺寸。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖；

圖2是本實用新型的剖視圖；

圖3是圖2所示I處的局部放大圖；

圖4是本實用新型的真空閥板平面圖；

圖5是圖4所示II處的局部放大圖；

圖6是本實用新型的長方形彈性膜片平面圖。

其中，附圖中的附圖標記所對應的名稱為：

1—真空吸附載板，11—吸附小孔，111—細孔，112—過渡孔，113—吸附孔口，2—真空閥板，21—長方形沉槽，211—平面，212—圓弧形面，22—通孔，23—圓弧形膠片，24—彈性膜片，241—槽口，3—基座，31—凹槽，32—通孔，33—沉孔，4—管接頭，5—平板型工件，6—螺栓。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型作進一步地詳細說明：

實施例