[實用新型]一種自適應基板尺寸的真空吸附平臺

有效

• 申請號: 201320158216.1
• 申請日: 2013-04-01
• 公開（公告）號: CN203156623U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發明（設計）人: 王會中;李宗澤
• 申請（專利權）人: 四川長虹電器股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;C03B33/00
• 代理公司: 四川省成都市天策商標專利事務所 51213
• 代理人: 王荔

1.一種自適應基板尺寸的真空吸附平臺，包括真空閥板（2），和置于真空閥板（2）上的陣列分布有貫穿的吸附小孔（11）的真空吸附載板（1），以及置于真空閥板（2）下的基座（3），其特征在于：所述真空閥板（2）上陣列分布設置長方形沉槽（21），所述長方形沉槽（21）底部為圓弧形面（212），所述圓弧形面（212）底部中心設置一通孔（22），所述長方形沉槽（21）中活動地設置一長方形彈性膜片（24）。

2.根據權利要求1所述的自適應基板尺寸的真空吸附平臺，其特征在于：所述長方形彈性膜片（24）的長邊兩側有連通長方形沉槽（21）和沉槽底部通孔（22）的槽口（241）。

3.根據權利要求1所述的自適應基板尺寸的真空吸附平臺，其特征在于：所述長方形沉槽（21）底部長度方向兩端為平面（211），中部為圓弧形面（212）。

4.根據權利要求1所述的自適應基板尺寸的真空吸附平臺，其特征在于：所述長方形沉槽（21）底部圓弧形面（212）中心通孔（22）的周邊局部敷設圓弧形膠片（23），圓弧形膠片（23）與圓弧形面（212）具有一致的曲率半徑。

5.根據權利要求1所述的自適應基板尺寸的真空吸附平臺，其特征在于：所述吸附小孔（11）為逐漸過渡的臺階孔。

6.根據權利要求1所述的自適應基板尺寸的真空吸附平臺，其特征在于：所述真空吸附載板（1）設有螺紋盲孔（114），在所述真空閥板（2）和基座（3）上分別設有與螺紋盲孔（114）一一對應的通孔（32）和沉孔(33)，螺栓(6)通過通孔（32）、沉孔（33）和螺紋盲孔（114）將真空吸附載板（1）、真空閥板（2）和基座（3）疊加緊固在一起。